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催化增强化学蒸气沉积法在聚酰亚胺上沉积钯-铂合金薄层 总被引:4,自引:0,他引:4
以N2,O2作载气,通过催化增强化学蒸气沉积(CECVD)分别制得在聚酰亚胺上的金属铂、钯及其合金薄层。铂、钯配合物的共同沉积可生成Pt-Pd合金薄膜。在Pd-Pt合金的沉积过程中,Pd/Pt的原子数比率随共同沉积的条件改变而变化。O2为载气、300 ℃条件下,用Pd(η3-allyl)(hfac)和Pt(COD)Me2作前驱体共沉积制备Pd-Pt合金,得到含Pd 37.2%,Pt 62.8%且不 相似文献
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