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本文采用三层光刻工艺制作了基于聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)的V形微分流器。引入牺牲层技术,解决了不同胶层间的界面互融问题,讨论了不同胶层间显影液对图形质量的影响。所制得的分流器工艺简单,结构形貌良好,具有良好的微流控制作用,满足器件使用要求。  相似文献   
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