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一、基本考虑等离子炬管是ICP发射光谱分析设备的核心组件。炬管的几何结构和工作参数直接影响着等离子体的各项分析性能,对于炬管的三支气流的通气方式、气流类型及其流量大小也是人们从事该光源研究的一个重要方面。中等功率(1-3千瓦)的ICP分析设备耗氩量通常为11-30升/分。因而分析成本较高,尤其是氩气的生产和使用受到国家和地区的限制,这就促使人们从各种渠道减少耗气量,例如:以廉价的空气或氮气部份取代昂贵的氩;选用耐高温的炬管材料(氮化硼);或改进炬管的几何结构,或用水冷。这些措施都已程度不等地达到了降低氩气消耗的目的,使商品化ICP设备的冷却氩气从18-20升/分降至9 相似文献
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