自组装制备二氧化铪图案化薄膜

采用短波紫外光(UV)在十八烷基三氯硅烷(OTS)自组装单分子层刻蚀不同的微型图案,利用液相自组装技术在OTS模板表面沉积HfO₂图案化薄膜。通过XRD、AFM、SEM、EDS等测试手段对OTS膜和HfO₂薄膜进行表征,结果表明：以OTS为模板利用液相自组装技术成功制备出边缘轮廓清晰、粗糙度较小、条纹宽度为10μm的立方晶型的HfO₂图案化薄膜。