大口径精密投影光刻制版镜头的光学装校

对于大口径精密投影光刻制版镜头来说 ,透镜的应力变形和中心误差对整个系统的成像质量有较大影响。详细介绍了一种减小应力变形的特殊结构和在一种光学装校过程中多镜组整体对接的方法 ,给出了对接前后的偏心测量数据以及镜头实际曝光的图形。     

OEA-1电视自准直仪的研制及应用

目前在光学车间普遍使用的光学比较测角仪视场大，测量精度低，而常用的测微自准直仪则测量精度高、视场小。这两种仪器均是通过目镜瞄准、读数，长时间工作，操作者容易疲劳。ＯＥＡ－１电视自准直仪是在比较测角仪和测微自准直仪的基础上，采用ＣＣＤ光电转换和视频信号技术研制成功的新一代自准直仪。它不仅视场大，而且测量精度高。同时，还能够根据对被测对象的要求在电视屏幕上任意地设定和显示公差带，实现对被测对象快速、准确的检测或判断。由于采用电视显示代替目镜观察，极大地减轻了操作者的劳动强度，提高了工作效率。     

亚微米(i线和g线)投影光刻物镜的光学装校

本文列出了ｉ线和ｇ线大数值孔径亚微米投影光刻物镜的技术指标要求，讨论了这类超高精度光刻物镜的光学装校技术特点，报告了计算机辅助高精度复杂光学系统偏心校正仪器和方法，最后给出了ｉ线和ｇ线光刻物镜装校检测结果。     

高精度OTF标准望远镜的研制

为了建立光学计量标准的需要，研制了光学传递函数标准望远镜。研制中采用了一系列高精度的光学设计、制造和检测技术，本文总结设计原则和设计方法、光学结构参数测量、ＭＴＦ准确计算、ＭＴＦ测量以及ＭＴＦ的不确定度评定等一些关键技术问题。最后，介绍标准望远镜的主要技术性能。实测结果表明，其ＭＴＦ扩展不确定度达到轴上００３，轴外００６，是迄今国际报道的最好结果。