CuO／ZrO_2超细粒子催化剂的制备和物性结构表征Ⅱ．煅烧温度的影响

ＣｕＯ／ＺｒＯ２超细粒子催化剂的制备和物性结构表征Ⅱ．煅烧温度的影响师江柳刘金尧朱起明（清华大学化学系一碳化工国家重点实验室，北京１０００８４）张鎏张继炎（天津大学化工系，天津３０００７２）关键词氧化铜，氧化锆，超临界流体干燥，超细粒子，煅烧，物性结...     

CuO／ZrO_2超细粒子催化剂的制备和物性结构表征Ⅰ．水凝胶pH值的影响

用乙醇超临界流体干燥法制备了ＣｕＯ／ＺｒＯ２超细粒子催化剂，考察了制备过程中水凝胶ｐＨ值对催化剂物性参数如比表面积、孔结构和晶相等的影响，并与干凝胶进行了对比．结果表明，ｐＨ值在６．５～１０．０范围内对晶相影响不大，但对物性结构的影响较大，比表面积和孔体积很快增大，孔形由椭圆形转变为均一的圆柱形，最可几孔径减小，微孔增多；与干凝胶相比，气凝胶表现出高比表面积和多孔结构的特点．ｐＨ＝１０．０时，气凝胶型催化剂的物性参数最佳     

对准标记鲁棒性分析方法及仿真

针对复杂结构对准标记仿真需求，联合严格耦合波法和分层近似法提出一种对准标记鲁棒性分析方法。利用该方法构建仿真模型：以晶圆质量和信噪比为评价函数，研究了标记槽深、槽宽、膜层厚度和侧壁对称变形等参数变化对标记鲁棒性的影响；以对准误差为评价函数，研究了侧壁非对称变形对标记鲁棒性的影响。并结合对准标记鲁棒性分析结果明晰了光刻机提升标记工艺适应性的策略。最后借助VirtualLab商业软件和实验平台，验证了分析方法的有效性和准确性。所提方法和给出的工艺适应性策略，对于对准标记设计优化和光刻机对准精度提升具有重要的理论意义和应用价值。