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991.
一种新型紫外正型光刻胶成膜树脂的制备及光刻性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文合成了N-(p-羧基苯基)甲基丙烯酰胺单体,并将其与N-苯基马来酰亚胺共聚得到共聚物聚N-(p-羧基苯基)甲基丙烯酰胺共N-苯基马来酰亚胺(poly(NCMA-co-NPMI)).将此共聚物作为成膜树脂,与感光剂、溶剂等复配得到一种新型耐高温紫外正型光刻胶.本文探讨了该光刻胶的最佳配方组成和最佳光刻工艺.最佳配方组成为:15%—20%成膜树脂,4.5%—6%感光剂和70%—80%溶剂;最佳光刻工艺为:匀胶30 s(4000 rpm),前烘4 min(90℃),感度为30—35mJ/cm2,在0.2%TMAH溶液显影10 s和后烘2 min(90℃). 相似文献
992.
993.
采用电子束蒸发法制备PbI2膜,研究不同工艺参数对制备样品光学性质的影响.结果表明,制备样品属于六方相多晶结构,随衬底温度的升高,样品中的I元素含量降低并趋于理想化学配比.随着衬底温度的升高,PbI2膜的光谱透过性能逐渐改善,吸收边沿低能一侧的拖尾逐步消除,源自样品结晶质量的提高.根据紫外-可见透过谱,计算了不同条件下制备样品的厚度、折射率、吸收系数和光学带隙.结果发现,随衬底温度的升高,制备样品的折射率和光学带隙出现波动变化,但吸收系数单调增大.在相同的衬底温度下,35 cm的源-衬间距下制备的样品具有最大的光吸收系数,归因于该系列样品较高的致密度. 相似文献
994.
在0.5 mol/L H2SO4水溶液中, 以氧化铟锡(ITO)导电玻璃为工作电极, 用恒电位电解的方法, 在0.9 V电位下电化学共聚邻甲基苯胺(OT)和邻氨基苯甲酸(AA). 涉及的电化学聚合均用在线紫外-可见光谱进行跟踪, 结果表明电化学共聚随着反应体系中邻氨基苯甲酸的浓度的增加而变慢; 所得的均聚物和共聚物均用FTIR和扫描电镜表征. FTIR表明邻甲基苯胺和邻氨基苯甲酸之间发生了共聚; 扫描电镜图表明, 与聚邻甲基苯胺相比, 从200 mmol/L OT/50 mmol/L AA和150 mmol/L OT/50 mmol/L AA反应体系得到的共聚物具有小颗粒和较为致密的表面形貌; 这个现象也帮助证明了邻氨基苯甲酸应该与邻甲基苯胺发生了共聚, 并使表面形貌发生了改变. 相似文献
995.
针对高流强粒子束与绝缘毛细管相互作用的特点, 设计制作了一套64通道一维位置灵敏电流分布探测器及其配套的数据获取系统, 该探测器可分辨最小直径为1 mm的束斑, 通过数据获取系统可实现可视化自动数据采集。 用2 nA和200—2000 eV电子对探测器进行了定标, 并用10 μA和2000 eV的电子束穿越锥形毛细管后的出射电子, 对探测器及数据获取系统进行测试, 获得了出射粒子的位置分布谱及能量信息。 A 64 channel position sensitive current distribution detector with 1 mm position resolution was developed, while the data acquisition system is based on the LabVIEW software. The test result obtained by using a 2 nA, 200—2000 eV electron beam deflecting by different voltages and the position spectra of 10 μA, 2000 eV electrons transmitted through a glass capillary was measured. The result indicated that the detector can be used to detect the charged particles with strong beam current through the capillary. 相似文献
996.
利用GEANT4和Garfield气体探测器模拟程序模拟了Micromegas中子探测器位置特性。 在漂移极上加一层聚乙烯薄膜作为转换材料, 通过反冲质子法测量中子的位置。 提出了一套通过设定探测器上层结构的方案来得到探测器的位置分辨特性。 通过对模拟结果的分析与比较, 得到一种易于测定探测器位置分辨特性的方法。 该工作不仅可以优化气体探测器结构设计, 缩短实验周期, 而且还能极大程度地节约经费。 In the present work, the spatial resolution of Micromegas as a neutron detector was simulated with GEANT4 and Garfield program. The polyethylene foil was used as neutron converter. A new method based on structural setting on the top layer of the detector was adopted to obtain spatial resolution. According to our simulation, it turned out to be a better spatial resolution, and this method was easily realized in experiment. 相似文献
997.
大气制动期间探测器的气动特性和轨道计算 总被引:1,自引:0,他引:1
以NASA火星全球勘测(MGS)号探测器作为大气制动计算模型,应用DSMC方法模拟了探测器在大气制动期间的稀薄气体动力学特性,分析了不同来流密度情况下探测器的流场特性、气动特性的变化情况以及气体动力学系数的变化关系.并提出了气动力-气动热-轨道一体化计算模型,利用DSMC模拟技术以及经典动力学理论对大气制动轨道变化进行了计算和分析.研究结果表明:行星大气密度、探测器俯仰角、偏航角的变化对探测器的气动特性有重要影响,计算结果与文献中的结果表现出很好的一致性;气动力-气动热-轨道一体化计算可以模拟大气制动过程,模拟所得到的大气制动轨迹反映出较好的制动效果. 相似文献
998.
研究了Tb^3 和Eu^3 在LnBaB9O16(Ln=La,Gd,Y,Lu)中的紫外和真空紫外光谱性质。X射线粉末衍射数据指标化结果表明,LnBaB9O16(Ln=La,Gd,Y,Lu)系列化合物属于三方晶系.Eu^3 的荧光光谱结果表明,LaBaB9O16和GdBaB9O16中稀土离子占据非中心对称的格位,Eu^3 在其中的特征发射以^5D0→^7F2电偶极跃迁为主;而在YBaB9O16和GdBaB9O16中稀土离子占据中心对铱性的格位,E^3 在其中的特征发射以^5D0→^7F1磁偶极跃迁为主.Tb^3 在LaBaB9O16和GdBaB9O16中的发射为^5D3→^7F0和^5D4→FJ(J=0-6)辐射跃迁,在YBaB9O16和LuBaB9O16中只能观察到^D4→^7FJ(J=3-6)辐射跃迁。与Eu^3 的发光性质相反,Tb^3 占据非中心对称的格位时的发射强度比占据中心对称的格位时要弱得多.Eu^3 和Tb^3 掺杂的样品在真空紫外波段的吸收弱。 相似文献
999.
1000.
金属酞菁配合物结构研究的一些谱学方法 总被引:30,自引:0,他引:30
本文介绍了近年来在研究金属酞菁配合物结构方面的一些谱学方法及其结果,首先简要概述了金属酞菁配合物的红外、紫外可见光谱性质,着重讨论了配合物中环周边取代基的类型、位置、数目以及配合物在溶液中处于不同聚集态时,对紫外可见光谱的影响。另外还对四取代金属酞菁配合物的异构体的NMR谱表征作了简介。 相似文献