塑封硅器件中介电薄膜的温湿效应分析(英文)

随着铜互连以及low-k电介质在超大规模集成电路中地广泛使用,low-k电介质的机械完整性及其对互连可靠性变得更加重要。影响介电膜的机械完整性和互连可靠性的因素包括介电膜的工艺制程,芯片与封装材料的相互影响,以及环境温度和湿度的影响。本文研究集中于了解环境温度和湿度对塑封硅器件中介电薄膜的可靠性影响。采用快速温度和湿度实验条件,对塑封硅器件中介电薄膜受水分和温度损伤的敏感性进行了分析。运用商业有限元(FEA)分析软件,对水分在塑封材料和硅器件中的扩散过程进行了建模及仔细分析。并对硅器件周边密封圈的防水分扩散效力进行了研究。通过这一系列实验与分析,对塑封硅器件中介电薄膜的温湿效应有了完整地了解,并提出和建立了相关的物理模型和经验公式。运用这物理模型和经验公式可对在各种使用环境温度和湿度条件下,塑封硅器件中介电薄膜的可靠性进行评估及分析。     

液体边界层对平板结构振动阻尼效应分析

本文分析了液体边界层对平板振动的阻尼效应，基于液体的Stokes边界层理论，建立了考虑液体边界层阻尼效应的平板振动单自由度系统运动方程，利用Laplace变换方法求解了运动方程，得到了平板结构的位移响应解答，制作了一个单自由度质量-弹簧系统来测量水体粘滞阻尼效应，并将理论与试验结果进行了对比分析，表明Stokes边界层理论能较好模拟水体的粘滞阻尼特性，边界层阻尼明显减小了结构的动力响应，本文最后讨论了所提的分析方法的适用范围．     

斜面结构冰荷载的动荷效应

利用改进的刚性梁模型进行了斜面结构冰荷载的动荷效应，推导了冰力的动荷系统，算例得到了与模型试验值和数值解相近的结果，依据分析对试验观察到的规律给出了理论上的证明和定性的解释，给出了准静态冰力条件的判别式。     

边界润滑条件下丁腈橡胶—金属磨损机理的研究

对矿物油润滑下丁腈橡胶－金属的磨损机理进行了研究。用扫描电子显微镜和Ｘ射线光电子能谱仪分析了橡胶及金属磨损表面形貌及其元素化学状态的变化，用傅里叶变换红外光谱仪分析了橡胶表面官能团的变化。结果表明：丁腈橡胶在应力集中处发生分子链断裂，形成高活性大分子自由基，大分子自由基与活化的金属发生力化学反应，生成金属－聚合物膜；同时，矿物油在金属表面还产生物理吸附和化学吸附膜。其与金属－聚合物膜在剪切力或磨屑     

微电子机械系统中的若干固体力学问题

简述了微电子机械系统若干固体力学问题研究的现状，包括：微构件材料的基本力学性能；微构件的力学分析与计算；微系统的失效分析研究；微系统的驱动等，并阐述了微系统力学问题中涉及的表面效应和尺度效应，提出了微系统多类型力作用，多种因素交叉，多学科耦合，非线性突出的特点和研究方向。     

计算梁与刚架位移两类叠加法的适用范围

 结合梁的小挠度理论、线性常微分方程及线性代数 有关知识, 阐明了计算梁与刚架位移的逐段变形效应叠加法的理论基础, 指出它比 另一类叠加法,即载荷叠加法的适用范围小. 采用逐段变形效应叠加法分析静不定 结构时, 必须先将此结构变换为静定的相当系统.     

光纤光栅传感器对钢筋混凝土内部应变的测量及温度效应的研究

本文应用光纤光栅传感器实现了对钢筋混凝土试件内部应变的测量．试验不仅就应用光纤光栅进行混凝土结构内部应变测量的技术、工艺进行研究，还通过设计温度控制试验，考察了光纤光栅传感器的温度补偿问题，以及横向应变对测量结果的影响．     

四频激光陀螺热致零漂机理研究

针对制约提高激光陀螺精度的热效应这一重要因素，分析了主要热致零漂及其作用机理，推导出了朗缪尔温度理论表达式。实验表明：外部温度变化与内部发热对陀螺江西省多有着相同的效果，热效应主要以温度，温度速度与温度方式影响零漂。     

三维复合型断裂的试验方法探讨

探讨了一种能够揭示三维复合型断裂现象并能记录这些现象的三维复合型断裂研究的实验方法，用此方法完成了LC4－CS航空结构铝合金不同厚度紧凑拉伸试样的I＋Ⅱ复合型断裂试验。结果表明：此方法能够简便地确定出复合型裂纹的起裂载荷、破坏载荷、裂尖张开位移、滑移位移和起裂角，基本解决三维复合型断裂研究所需实验数据问题。同时发现此种材料试样的承载能力和超裂方向的确具有明显的厚度效应。     

利用球面波Talbot效应和衍射错位干涉法实时测定曲率

本文提出了一种用点光源的Talbot效应和衍射错位产生的干涉效应,直接、实时、全场性地测定各种材料制成的板、扁壳结构,在横向载荷作用下曲率分布的方法。文中介绍了此方法的基本原理和实验方法,并给出了圆板的实测结果。