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在纳米压印工艺中,对模板和压印结构的几何参数进行快速、低成本、非破坏性地准确测量具有非常重要的意义.与传统光谱椭偏仪只能改变波长和入射角2个测量条件并且在每一组测量条件下只能获得振幅比和相位差2个测量参数相比,Mueller矩阵椭偏仪可以改变波长、入射角和方位角3个测量条件,而且在每一组测量条件下都可以获得一个4×4阶Mueller矩阵共16个参数,因此可以获得更为丰富的测量信息.通过选择合适的测量条件配置,充分利用Mueller矩阵中的测量信息,有望实现更为准确的纳米结构测量.基于此,本文利用自主研制的Mueller矩阵椭偏仪对硅基光栅模板和纳米压印光刻胶光栅结构进行了测量.实验结果表明,通过对Mueller矩阵椭偏仪进行测量条件优化配置,并且在光学特性建模时考虑测量过程中出现的退偏效应,可以实现压印工艺中纳米结构线宽、线高、侧壁角以及残胶厚度等几何参数更为准确的测量,同时对于纳米压印光刻胶光栅结构还可以直接得到光斑照射区域内残胶厚度的不均匀性参数. 相似文献
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波分复用无源光网络具有支路多、节点密的特征,为精确定位各支路的断点,提出了一种基于可调谐混沌Fabry-Perot激光器的检测方法.将光反馈多纵模Fabry-Perot半导体激光器作为混沌光源,在改变反馈光光波模式的条件下输出波长可调谐的混沌激光.以探测光的波长标记各被测支路,将探测信号和携带延时信息的回波信号进行互相关运算,根据相关曲线峰值的位置即可完成定位.分析了可调谐混沌源的特性,并以1×4的波分复用无源光网络为例,进行了初步的实验验证,结果表明该方法可以精确定位光网络支路中连接点及断点的位置,空间分辨率达4 cm,且与探测距离无关. 相似文献
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《中国惯性技术学报》2014,(3)
根据旋转加速度计重力梯度仪的测量原理,其前放电路可以分为电流放大、求和运算、求差运算和带通滤波四个功能部分。首先推导了将电路输出噪声折算到重力梯度仪输入端的计算方法;其次分析了前放电路是电路噪声的主要来源,并以低噪声为前放电路的首要设计目标,研究了前放电路增益和运放的噪声指标之间的关系,比较了10-810-11g各个精度级别的加速度计对电路增益和运放噪声指标的最低需求。最后通过对研制的前放电路的试验测量证明了分析的合理性。 相似文献
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大型玻璃钢渔船帽型骨架剖面参数的力学分析 总被引:1,自引:0,他引:1
本文对大型玻璃渔船帽型架剖面参数,进行了在不受力情况下正交各向异性玻璃钢薄板稳定的力学分析,建立架受力分析-受压区的矩形薄板压缩稳定和腹板的矩形薄板剪切稳定两种力学模型,解得这两种力学模型,在两种材料(1:1玻璃钢和4:1玻璃铡)与两种边界件(四边简支和四边固支)组合的四种条件下,骨架剖面参数的b/t1和h/t的取值范围,它们依次为10.0~26.2和28.7~44.2。文中分析结果为帽型骨架剖面 相似文献
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介绍了一种由单片机系统控制的薄层色谱自动点样装置,其中喷嘴和机械部分的制作比较实用。采用本文设计,能制出足以与商品仪器媲美的产品,且成本极低。 相似文献
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密立根油滴仪照明装置的改进 总被引:2,自引:1,他引:1
密立根油滴仪照明装置的常见故障有 :1 )照明灯 (2 .2 V)不聚焦 ,本身不亮或亮度不够 ,导致视场过暗 ,影响操作 .2 )照明灯过亮 ,观察油滴时眼睛疲劳 ,导致测量结果误差增加 .3 )照明系统散热不畅 ,导致灯泡寿命太短 ,浪费资源 .为了克服照明装置对学生实验带来的不便 ,笔者对原装置进行了改进 ,具体方法是 :1 )因发光二极管使用寿命长、发热量少且热对流小 ,所以照明灯采用耐压 6V的发光二极管 .选取绿色发光管实验 ,可以减轻长时间实验引起的眼睛疲劳 .2 )照明灯 6V电源可以由油滴仪电源内多抽头变压器提供 .由于油滴仪电源开关的氖灯正… 相似文献
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