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采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWPECRCVD)方法,使用不同的源气体(CHF3CH4,CHF3C2H2,CHF3C6H6)体系制备了aC∶F∶H薄膜.由于CH4,C2H2,C6H6气体在等离子体中的分解反应不同导致了薄膜的沉积速率和结构上的差异.红外吸收谱的结果表明,用C6H6CHF3作为源气体沉积的薄膜中几乎不含H,而用C2H2CHF3所沉积的薄膜中的含氟量最高,其相应的CF振动峰位向高频方向偏移.薄膜的真空退火结果表明,aC∶F∶H薄膜的热稳定性除了取决于薄膜的CC键浓度外,还与CC键
关键词:
氟化非晶碳膜
电子回旋共振化学气相沉积
红外吸收光谱 相似文献
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1前言流化床焚烧污犯是近年来发达国家广泛采用的方法,它能很好地实现污泥的稳定化、无害化、减容化和资源化处理。燃煤流化床锅炉污染物排放方面已做了大量的研究工作,由于污泥与煤在结构和性质方面的差异较大,因此有必要对流化床焚烧污泥时污染物排放特性进行研究。本文详细研究了造纸、废水污泥在流化床中焚烧时污泥水份、运行床温及过量空气对NO。和SO。的排放特性及污泥N-+NO。、S-SO。的转化率的影响,并对这两种性质差异较大的污泥焚烧时的NO。和502的生成特性进行了对比分析,取得了许多有价值的结果,为污泥流化床焚烧… 相似文献
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给出了线性复值随机跳跃-扩散方程隐Miltein格式的渐近均方的必要条件,并揭示了离散步长的稳定区域与格式隐性之间的关系。 相似文献
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食物中游离态二价铁及游离态三价铁的测定 总被引:4,自引:0,他引:4
人体必需的微量元素铁的生物有效性与铁的离子价态有关。为了解食物中游离态二价铁与游离态三价铁的含量,及其在总铁中的比例,用去离子水提取食物中的游离态铁,分别用邻菲啉-氟化铵体系和硫氰酸钾体系分光光度法测定游离态二价铁与三价铁离子,结果发现动物性食物中游离态二价铁离子明显高于游离态三价铁离子,而植物性食物却相反。紫菜中游离态二价铁离子的含量是传统观念中补铁食物菠菜的25倍、猪肝的14倍,是较为理想的补铁食物。各种食物的游离态Fe2+与Fe3+之和,约占总铁的7%~93%,说明除了游离态的Fe2+和Fe3+外,尚有其他形态的铁存在,并且动物性食物较多。 相似文献
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