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41.
建立一个描述低能电子在多元多层介质中散射的物理模型,运用MonteCarlo方法模拟低能电子在靶体胶衬底中的复杂散射过程,在此基础上通过大量计算研究入射束能、胶层厚度、衬底材料等不同曝光条件对抗蚀剂沉积能密度分布的影响,获得沉积能分布规律:适量的低束能、薄胶层、低原子序数衬底可以使前散射电子对胶中沉积能密度分布的贡献增大、背散射电子的贡献减小,从而提高曝光分辨率.
关键词:
电子束曝光
MonteCarlo方法
低能电子散射
能量沉积 相似文献
42.
对ALICE实验光子谱仪的触发选判机制进行了模拟研究, 内容包括: 1) 对光子谱仪的能量重建性能进行了研究, 通过计算机模拟检验光子谱仪探测器对大横动量范围的入射粒子的能量重建性能; 2) 对光子谱仪探测器的事件触发效率进行了研究, 通过计算机模拟分析触发阈值的选取并计算触发效率; 3) 对光子谱仪探测器的事件触发频率进行了研究, 通过计算机模拟对p-p和Pb-Pb两种碰撞模式下的触发频率分别进行了估算和讨论. 相似文献
43.
上海光源储存环束流托歇克寿命研究 总被引:2,自引:0,他引:2
上海同步辐射装置(SSRF)是目前在建的第3代专用同步辐射光源. 其储存环电子能量3.5GeV, 设计束团发射度3.9nm•rad. 托歇克寿命将是影响束流寿命的最主要因素, 它主要受限于储存环的能量接受度. 储存环的能量接受度不但取决于
高频电压, 同时也受动力学孔径和物理孔径的影响. 因此能量接受度的计算将是复杂的. 通过计算机模拟跟踪的方法计算储存环各点的能量接受度, 其程序是建立在Accelerator Toolbox(AT)基础上的自编程序. 通过这些能量接受度数据给出更加准确的托歇克寿命, 并且分析了感兴趣的不同运行条件下的托歇克寿命的变化情况. 相似文献
44.
核反应中亏损的质量哪里去了?这是“原子核”一章困扰着同学们的一个难题.课本并没有深入解释,只是简单定性地指出“原子核的质量要比组成它的核子的质量小,我们把组成原子核的核子的质量与原子核的质量之差叫做核的质量亏损”;“不仅核子结合成原子核时有质量亏损,放出能量,有些重核分裂成中等质量的核,有些轻核结合成中等质量的核,也发生质量 相似文献
45.
46.
KANG Zihua WANG Mingwei QIAN Jiamei RAO Jun LI Xiujuan ZHENG Tieliu WANG Xuehua 《核工业西南物理研究院年报(英文版)》2004,(1):73-76
Lower hybrid wave (LHW), electro cyclotron (EC) and neutral beam injection (NBI) etc. are the important methods of auxiliary heating. They would be devoted to the HL-2A tokamak step by step. In order to satisfy the debug of each system and the need of the experiment, the system should be equipped with high voltage pulse power (HVPP) according to the requirement. 相似文献
47.
不同频段的位相误差对输出光束将产生不同的影响,低频段主要影响远场焦斑主斑的能量分布,中高频段影响光的散射或者可能出现的较大的强度峰值调制,高频段影响光的散射,导致能量的损失。研究光学元件引入的位相误差与输出光束之间的定性、定量关系,首先必须对位相误差进行相应的滤波处理,反映光学元件面形的细微误差。 相似文献
48.
Using evolutionary population synthesis technique, we explore the behaviour of the integrated U-B,B-V, V-R and R - I colours, the integrated spectral energy- distributions (ISEDs) and Lick/IDS absorption-line indices of instantaneous burst solar-metallicity binary stellar populations, as a function of the initial mass function (IMF)of primaries. It is found that the variation of the IMF of primaries produces a small effect on the integrated colours and the Lick/IDS indices, while a significant difference in the absolute ISEDs. 相似文献
49.
激光水下扫描成像系统的图像修正机理 总被引:2,自引:0,他引:2
同步扫描系统可以克服后向散射,但同时也产生了两种非线性,一是扫描线速度的非线性,一是由于距离对光能衰减造成的非线性,两种非线性都需要修正,本文从原理上讨论水下激光成像时能量衰减的修正原理与修正方法,并给出仿真结果。 相似文献
50.