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Electronic stopping powers for 0. 05-10 MeV protons in a group of organic materials are systematically calculated. The calculations are based on Ashley's dielectric model, and an evaluation approach of optical energy loss function is incorporated into Ashley's model because no experimental optical data are available for most of the organic materials under consideration. The Barkas-effect correction and Bloch correction are included. The proton stopping powers for the considered organic materials except for mylar in the energy range from 0.05 to 10 MeV are presented for the first time. The results may be useful for studies of various radiation effects in these materials and for space research. 相似文献
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建立一个描述低能电子在多元多层介质中散射的物理模型,运用MonteCarlo方法模拟低能电子在靶体胶衬底中的复杂散射过程,在此基础上通过大量计算研究入射束能、胶层厚度、衬底材料等不同曝光条件对抗蚀剂沉积能密度分布的影响,获得沉积能分布规律:适量的低束能、薄胶层、低原子序数衬底可以使前散射电子对胶中沉积能密度分布的贡献增大、背散射电子的贡献减小,从而提高曝光分辨率.
关键词:
电子束曝光
MonteCarlo方法
低能电子散射
能量沉积 相似文献
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Monte Carlo方法模拟低能电子在多元介质中散射:基于平均散射截面 … 总被引:1,自引:1,他引:0
应用基于平均散射截面低能电子在多元介质中散射Monte Carlo方法,模拟E0≤5keV低能电子在多种多元介质同中散。计算了电子背散射系数,背散射电子能谱、角分布、入射电子,背散射电子在介质中的作用范围、沉积能分布,并与确定散射中心方法的结果比较。两种方法计算结果广泛一致,进上步证明基于平均散射截面方法的有效性和可靠性。入射电子能量较低,介质平均原子序数较大时,计算的背散射电子角分布不服从余弦分 相似文献
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由于异步电动机的数学模型具有高阶次、强非线性和多变量耦合的特点,所以要直接得到效率最优控制方程的清晰表达式是十分困难的。针对风机泵类、恒转矩和恒功率负载,利用电动机线性化公式导出了效率最优控制方程的表达式及其约束条件。并分别给出新方程和基于模型的效率优化方法的仿真计算结果。结果表明:两者的控制效果十分近似,而新方程却具有简单、实用的突出特点,可直接用于实际变频驱动系统的设计和应用。 相似文献
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应用Monte Carlo方法,对能量E0≤5keV低能电子作用下固体Al、Cu、Ag、Au的背散射电子发射及表面空间分布作了计算.模型应用Mott散射截面及修正的Bethe方程分别描述低能电子在固体中的弹性和非弹性散射.计算了背散射电子能量分布、表面空间分布、深度分布和角分布规律及特征,还计算分析了背散射电子角分布与深度分布、表面空间分布及能量分布之间的关系,系统地描述了背散射电子的发射及分布规律. 相似文献
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基于文献[1]的工作,电子在固体中的弹性散射用Mott微分截面计算;非弹性散射分为单电子激发和等离子激发并由Streitwolf、Gryzinski及Quinn的截面描述.模拟了低能电子在Al块样及薄膜中的散射过程,对不同能量低能电子作用下Al的背散射系统、能谱又透射系数作了计算,结果与实验符合较好.也对背散射电子、低能损背散射电子表面分布作了计算,结果表明低能损背散射电子具有较好的空间分辨率. 相似文献
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相对于普通的有机/无机杂化材料,侧链键合型有机/无机杂化材料能提高生色团的掺杂浓度,避免出现结晶、相分离等现象,同时生色团极化有序性的弛豫因生色团运动受阻而降低,具有较高的热稳定性.本文采用溶胶凝胶法合成了一种性能优良、稳定的侧链键合型有机/无机杂化材料,并将这种材料应用于电光调制器的电光层,利用传统的半导体工艺,采用加载条形波导结构,成功制备了马赫-曾德尔(Mach-Zehnder,M-Z)型电光调制器.测试得到电光调制器在1 550 nm波长下10 kHz的响应信号,为键合型杂化材料应用于光电器件的进一步研究打下了基础. 相似文献