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硅表面固有的菲涅耳反射, 使得硅基半导体光电器件(如太阳能电池、红外探测器)表面有30%以上的入射光因反射而损失掉, 严重影响着器件的光电转换效率. 寻找一种方法降低硅基表面的反射率, 进而提高器件的效率成为近年来研究的重点.本文基于纳米压印光刻技术, 在2 英寸单晶硅表面制备出周期530 nm, 高240 nm的二维六角截顶抛面纳米柱阵列结构. 反射率的测试表明, 当入射光角度为8° 时, 有纳米结构的硅片相对于无纳米 结构的硅片来讲, 在400到2500 nm波长范围内的反射率有很明显的降低, 其中, 800到2000 nm波段的反射率都小于10%, 在波长1360 nm附近的反射率由31%降低为零. 结合等效介质理论和严格耦合波理论对结果进行了分析和验证.
关键词:
纳米压印
截顶抛物面阵列
抗反射
等效介质理论 相似文献
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本文研究了不同激光工作模式对苯氰分子高分辨光谱的影响,高分辨的激光为Ar~+泵浦的cw环形染料激光经过Nd:YAG激光三步脉冲放大后倍频产生的UV光.实验发现当Nd:YAG激光的振荡级有种子光注入时,光谱呈现转动分辨的谱线,可以很好地标识为苯氰分子S_1←S_0 0_0~0跃迁的转动结构;而当Nd:YAG激光工作于多个模式(无种子光注入)时,光谱则为连续的毫无结构的谱带.由于苯氰分子S_1电子态具有较大的偶极矩,工作于多个模式下激光脉冲的峰值功率的增强产生AC Stark效应,是导致谱线加宽从而无法观测到转动分辨光谱的可能原因. 相似文献
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纳米压印模板通常采用极紫外光刻、聚焦离子束光刻和电子束光刻等传统光刻技术制备,成本较高.寻找一种简单、低成本的纳米压印模板制备方法以提升纳米压印光刻技术的应用成为研究的重点与难点.本文以多孔氧化铝为母模板,采用纳米压印光刻技术对纳米多孔硅模板的制备进行了研究.在硅基表面成功制备出纳米多孔阵列结构,孔间距为350—560 nm,孔径在170—480 nm,孔深为200 nm.在激发波长为514 nm时,拉曼光谱的测试结果表明,相对于单面抛光的硅片,纳米多孔结构的硅模板拉曼光强有了约12倍左右的提升,对提升硅基光电器件的应用具有重要的意义.最后,利用多孔硅模板作为纳米压印母模板,通过热压印技术,成功制备出了聚合物纳米柱软模板. 相似文献
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High resolution lasers are necessary to derive the most information from molecular spectra. However, their use uncovers some photophysical processes that compromise the ability to resolve rotational structure. We study the influence of laser optical mode structure on the high resolution spectra of the S1 states of benzonitrile in a supersonic molecular beam using an Ar^+ pumped cw ring dye laser which is amplified by a pulsed Nd: YA G laser. The latter could be operated either in one optical mode by injecting (seeding) its oscillator with a single mode diode laser, or with many optical modes by not using the seeder. Rotationally resolved lines are obtained when the oscillator of the YAG laser are operated in one single optical mode, but only a continuum is seen when the YAG laser has multiple modes. It is argued that the ac Stark effect is the most probable reason for broadening and blurring the rotational lines. 相似文献
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In this paper, we show that there exists no complete rotationally symmetric cusp metric on R^3. Also we consider the existence of the complete rotationally symmetric cusp metric with other situations. 相似文献
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用一束波长为210.27nm的激光将CS2分子激发至预离解态^1B2(^1∑u^+),用另一束激光通过激光诱导荧光(UF)方法检测碎片CS,在250.5~286.5nm获得了CS碎片A^1П←X^1∑^+振转分辨的激发谱,通过对光谱强度的分析,获得了CS碎片v″=0~8的振动布居和v″=1,4~8振动态的转动布居,结果发现,碎片CS的振动布居呈双模结构,分别对应于CS2分子^1B2(^1∑u^+)态的两个解离通道,即CS(X^1∑^+,v″=0~9)+S(^3PJ)和CS(X^1∑^+,v″=0~1)+S(^1B2),由此得到两个解离通道的分支比S(^3P1):S(^1B2)为5.6±1.2。与前人193nm处的研究结果相比,210.27nm激发更有利于S(^3P1)通道的生成。此外,实验还发现CS的转动布居不满足热平衡分布,为两个Boltzmann分布的合成。 相似文献
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用一束波长为360.55
nm的激光,通过N2O分子的(3+1)共振增强多光子电离过程制备纯净的母体离子N2O+X2Ⅱ3/2,1/2(000).用另一束可调谐激光将N2O+离子激发至预解离态A2Σ+,利用飞行时间质谱检测解离碎片NO+离子强度随光解光波长的变化,在278-328
nm波长范围内获得了光解碎片的激发(PHOFEX)谱.观测到了N2O+离子A2Σ+←X2Ⅱ电子跃迁较丰富的振动谱带.通过对PHOFEX光谱的标识,获得了A2∑+态较准确和全面的分子光谱常数. 相似文献
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