光刻技术:发展路径及未来趋势

光刻技术在半导体器件大规模生产中发挥重要作用.今天,多数先进半导体生产都已经应用ArF准分子激光浸润光刻技术.双重图像曝光和侧壁图像转移技术使ArF准分子激光浸润光刻技术延伸到32纳米半节距(HP)器件的制造成为可能.为了制造更小尺寸的器件,必须开发新的制造工艺.极端紫外线光刻是制造22纳米半节距甚至更小尺寸半导体器件的先进下一代光刻技术解决方案.另外,其他技术解决方案,如纳米压印光刻技术和无掩模直描光刻技术等也被考虑用于制造更小节点尺寸的器件,但是目前这些方案仅仅处在研发阶段,而且在现阶段就已经呈现出在大规模生产中的诸多困难.本文从材料的角度对光刻技术进行一个整体描述,并对光刻技术未来趋势进行讨论.     

酶消解-单颗粒电感耦合等离子体质谱法测定农产品中纳米铂颗粒

铂纳米颗粒在汽车行业中被广泛用作汽车尾气催化剂.随着铂纳米颗粒在工业生产中的广泛应用,它在环境中广泛分布并可能从植物累积进入食物链中.因此,建立一种在农产品中的定量分析方法是至关重要的.以酶消解的前处理方法结合单颗粒-电感耦合等离子体质谱法(Single particle ICP-MS,SP-ICP-MS)测定农产品中...     

聚对苯二甲酰对苯二胺/水滑石纳米复合材料的制备与表征

近20年来,人们已经研究和制备了很多聚合物／层状无机粘土纳米复合材料,但所用无机粘土绝大多数为蒙脱土等具有层状结构的阳离子化合物,而对以水滑石(LDH)等阴离子型化合物为基础制备的聚合物／层状无机物纳米复合材料的研究近期才有报道．     

INFORMA基于TMN 的OXC''''s 信息建模(英文)

本文介绍了对多波长光传送网实施基于ＴＭＮ 管理中涉及的信息建模的方法问题，在建议了一组用于描述光传送网通用功能的基本传送对象类的基础上，讨论了几种典型ＯＸＣ′ｓ 信息建模的方法，包括可能用到的对象类，这些方法和对象类为建立实际的、完整的ＯＸＣ′ｓ 信息模型提供了的基础－     

光学测距机测距误差评定

本文论述了用解析法和统计学方法确定光学测距机的测距误差,并对有关问题进行了分析.一、引言的现代战争中,炮兵应当具有很强的反应能力。为了缩短射击准备的时间,其要求之一就是单观决定目标诸元。因此测距机是侦察的一种重要手段。根据我国的技术、经济条件,在当前和今后一段时间内,我军炮兵单观测距器材将会是体视测距机和激光测距机并存。国外对前者“这种不需能源的技术器材,仍然在继续应用”。所以,对光学测     

薄壁梁在纯弯曲下的非线性变形

本文对薄壁梁在纯弯曲作用下给出了一个用有限单元法进行非线性分析的方案。根据这一方案编写了适用于分析任意截面的薄壁梁的通用程序。用这个程序计算了若干例题,结果是满意的。本文仔细分析了一个槽形截面梁的大变形并给出了其临界弯矩。     

生物质快速热解油水相溶液超声乳化特性

使用生物油水相溶液与0# 柴油乳化,筛选了四种常用乳化剂和一种助乳化剂进行复配乳化实验,考察了复配乳化剂型号、乳化剂用量、超声作用时间对乳化效果的影响。结果表明,六种乳化液超过30d不破乳,与0# 柴油相比,密度和热值相差不大,含水量3%以下,黏度增大约40%,pH值降低一半。因素分析法表明,水相溶液与柴油质量比和不同的水相溶液对乳化效果影响较大。探讨了乳化机理,认为生物油水相溶液中水、醛、酸、酮等极性组分化合物稳定地被乳化剂包裹在W/O型乳化液液滴中,生物油水相溶液中少量的乙酸乙酯、芳香类化合物等则增溶于非离子乳化剂胶束中。热力学分析表明,超声乳化作用比静置作用具有更大的熵增,乳化液更趋于稳定平衡状态。     

MoNi/γ-Al2O3催化剂的制备及其催化乙酸临氢酯化反应性能

采用等体积浸渍的方法制备了MoNi/γAl2O3系列催化剂,利用XRD和TPR手段表征了其结构随Mo助剂的添加量和催化剂还原温度的变化,并考察了在3 MPa的氢气压力下,乙酸催化酯化的反应性能.结果表明,添加助剂Mo有利于Ni均匀地分散,减弱了Ni与Al之间的相互作用,抑制了NiAl2O4尖晶石结构的形成,降低了催化剂的还原温度.催化剂经600℃还原后,NiO被还原为Ni0.当加入经过600℃还原的催化剂MoNi/γ-Al2O3后,乙酸临氢反应转化率显著提高,可达33.2%.在3 MPa的氢气压力下,乙酸反应的途径可能为一部分乙酸被还原得到乙醇,乙醇与未还原的乙酸发生酯化,以乙酸乙酯和水为反应产物.     

拼接干涉仪在控制装校面形中的应用

通过对比大口径光学元件夹持不当时全口径与局部口径之间的图像关系,研究局部面形控制的新方式。并与高精度的大口径干涉仪进行比对测试,验证拼接干涉仪的测试精度。实验表明,拼接干涉仪局部测试精度可达50 nm(PV值).空间分辨力高达5 mm~(-1),可以实现中频段的装校临控。使用拼接干涉仪扫描测试全口径面形,测试不确定度小于100nm.与φ600 mm的大口径干涉仪测试结果差别小于0.04λ(波长λ=632.8 nm)。     

Effects of Dual-Electrode Biasing on Er in a Toroidal Plasma

Two externally biased electrodes were inserted into the plasma on the KT-5C tokamak to test the effects on modifying the radial electric field Er, other than single biasing. Using various combinations of biasing voltage,the influences of double biasing are compared with the single biasing. It turns out that the effect of dual-biasing is also effective as a single one, but the outer electrode seems to be shielded by the inner one and show less influence. The results clearly show that the radial electric field Er changed by external biasing is intrinsically an effect localized at the edge of the plasma, which is caused by the electrode induced radial current; and dualelectrode biasing using the method similar to the single biasing seems not to be able to increase more distinctly the peaking effect on Er than the single biasing.