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41.
对不同的本底真空条件下,采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术沉积的氢化微晶硅(μc_Si∶H)薄膜中的氧污染问题进行了比较研究.对不同氧污染条件下制备的薄膜样品的x射线光电子能谱与傅里叶变换红外吸收光谱测量结果表明:μc_Si∶H薄膜中,氧以Si—O,O—O和O—H三种不同的键合模式存在,不同的键合模式源自不同的物理机理.μc_Si∶H薄膜的Raman光谱、电导率与激活能的测量结果进一步显示:沉积过程中氧污染程度的不同,对μc_Si∶H薄膜的结构特性与电学特性产生显著影响;而不同氧污染对μc_Si∶H薄膜电学特性的影响不同于氢化非晶硅(a_Si:H)薄膜.
关键词:
氢化微晶硅薄膜
甚高频等离子体增强化学气相沉积
氧污染 相似文献
42.
A water soluble crude polysaccharide has been isolated from the fruiting body of cultivated Cordyceps militarvs(L.)Link.The GC analysis indicated that it contained the monosaccharides of Gal,Man,Glc and GlcA.Their molar ratio is 1.00:1.58:7.89:0.19.The crude polysaccharide was fractionated with ethanol to get three fractions,which were CM-Ⅰand CM-Ⅲ,CM-Ⅱ was further purified to get one homogeneous fraction named CMB.The molecular weight was estimated to be 6000by means of gel filtration.CMB is a greyish white powder.The GC analysis indicated that it was composed of Gal.Man,Glc and the molar ratio is 1.00:1.38:5.10.Partial hydrolysis with an acid.periodate oxidation.Smith degradation.IR,GC and methylation analyses,GC/MS analyses were used for the structure analyses of CMB.Man,(1→6)-linked-Glc,(1→4)-linked-Glc and (1→4)-linked-Gal.Some of (1→4) -linked-Glc and all(1→4)-linked-Gal residues are substituted at 3-O and 6-O respectively,(1→4)-linked-Glc and minor(1→6)-linked-Gle.The nonreduced end is composed of Gal and Glc.The main glycosidic link of CMB is α configuration. 相似文献
43.
时间分辨红外发射光谱法对自由基反应的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
在过去的 15年中 ,傅立叶变换红外发射光谱法广泛应用于研究气相自由基反应 .Sloan首先研究了O(1D)的反应 ,随后Leone和Hancock研究了O(3 P)的反应 .此后 ,孔繁敖和朱起鹤等研究了小自由基 ,包括CH、CH2 、CH3 、C2 H3 、C2 H5、C2 H、C3 H3 和C3 H5与O2 、NO、N2 O、NO2 等分子的反应。在红外光谱中观察到各个反应的初生产物和初步反应通道 ,和从头算的理论研究结合起来 ,这些反应的机理已基本弄清 . 相似文献
44.
本文用准平衡模型分析讨论了线性电压扫描下MIS器件的I/V瞬态.文中除了给出一般的处理方法以外,还给出了几种不同电压扫描率下I/Y特性的计算结果,并与已往的模型作了比较. 相似文献
45.
46.
47.
HT—6M闭环反馈平衡控制系统 总被引:1,自引:1,他引:0
本文描述HT-6M托卡马克装置闭环反馈平衡控制系统的结构组成,通过对各个环节的简化,得到了有效实用的数学模型,进而分析了系统稳态和动态性能。实验结果表明,该系统运行可靠;并且,将等离子体环水平位移控制在2mm以内。 相似文献
49.
1 引言交流电桥是电磁学实验仪器,它主要用来测量电容器的电容量和线圈的电感量,是电感、电容测最中精确度较高的测量方法,而且,为了提高电桥测量精度,人们进行了一些有关电桥平衡指示器的探讨性实验。 相似文献
50.
在电流及温度分布满足“不变性”原理的基础上,本文分析了等离子体中心热区的能量平衡,求出了电子热传导系数,根据实验数据拟合出HL-1装置电子热传导系数的定标关系为X_e=6.8(n_(eq1))~(-1.2)。此关系与其他托卡马克装置的结果类似。 相似文献