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采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWPECRCVD)方法,使用不同的源气体(CHF3CH4,CHF3C2H2,CHF3C6H6)体系制备了aC∶F∶H薄膜.由于CH4,C2H2,C6H6气体在等离子体中的分解反应不同导致了薄膜的沉积速率和结构上的差异.红外吸收谱的结果表明,用C6H6CHF3作为源气体沉积的薄膜中几乎不含H,而用C2H2CHF3所沉积的薄膜中的含氟量最高,其相应的CF振动峰位向高频方向偏移.薄膜的真空退火结果表明,aC∶F∶H薄膜的热稳定性除了取决于薄膜的CC键浓度外,还与CC键
关键词:
氟化非晶碳膜
电子回旋共振化学气相沉积
红外吸收光谱 相似文献
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桥环化合物环数的计算方法 总被引:2,自引:0,他引:2
总结了 7种计算桥环化合物环数的方法。重点介绍了由A .Srikrishna提出的一种简便方法 ,并将此法应用于有机杂环化合物环数的确定 ,得到了满意结果 相似文献
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分析软土地基上路堤与桥梁的沉降差异及跳车的原因,采用桥随路降的治理方法,应用柱式升降桥墩来调控桥面高程,使桥面降落高度与路面沉降量一致,保持道路竖曲线顺畅,消除桥头跳车. 相似文献
47.
乌骨鸡磷脂侧链脂肪酸的GC-MS分析 总被引:1,自引:1,他引:0
用氯仿:甲醇(2:1)超声提取乌骨鸡总磷脂,丙酮脱油精制后,经皂化、甲酯化处理,应用GC-MS联用技术对其侧链脂肪酸组成进行分析,并以面积归一法,计算各脂肪酸的相对百分含量.结果显示,乌骨鸡总磷脂中含有硬脂酸27.46%、花生四烯酸21.39%、油酸18.22%、亚油酸16.67%、棕榈酸12.13%、二十二碳六烯酸(DHA) 2.26%、二十碳三烯酸1.71%、棕榈油酸0.16%.不饱和脂肪酸和多不饱和脂肪酸的含量分别为60.41%和42.03%.乌骨鸡磷脂侧链脂肪酸中高比例的多不饱和脂肪酸和花生四烯酸含量是乌骨鸡磷脂的显著特征. 相似文献
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通过实验分析确立了把光纤电阻作为衡量气密性碳涂覆光纤通过2%应变筛选的过渡标准。要拉制2%应变筛选的碳涂覆光纤,其电阻值应小于30kΩ/cm。 相似文献
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