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采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWPECRCVD)方法,使用不同的源气体(CHF3CH4,CHF3C2H2,CHF3C6H6)体系制备了aC∶F∶H薄膜.由于CH4,C2H2,C6H6气体在等离子体中的分解反应不同导致了薄膜的沉积速率和结构上的差异.红外吸收谱的结果表明,用C6H6CHF3作为源气体沉积的薄膜中几乎不含H,而用C2H2CHF3所沉积的薄膜中的含氟量最高,其相应的CF振动峰位向高频方向偏移.薄膜的真空退火结果表明,aC∶F∶H薄膜的热稳定性除了取决于薄膜的CC键浓度外,还与CC键
关键词:
氟化非晶碳膜
电子回旋共振化学气相沉积
红外吸收光谱 相似文献
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郭冰 柳卫平 Trinczek M Lapi S Ames F Buckley K R D’Auria J M Jayamanna K Ruiz C Ruth T J 《中国物理 C》2006,30(7):675-679
加拿大TRIUMF实验室利用11C成功验证了一种产生高强度(~108ions/s)放射性束流的方法. 该方法不同于普通在线同位素分离方法, 它利用了13MeV的低能强流质子束, 可以产生一系列核天体物理实验感兴趣的高强度放射性束流. 相似文献
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乌骨鸡磷脂侧链脂肪酸的GC-MS分析 总被引:1,自引:1,他引:0
用氯仿:甲醇(2:1)超声提取乌骨鸡总磷脂,丙酮脱油精制后,经皂化、甲酯化处理,应用GC-MS联用技术对其侧链脂肪酸组成进行分析,并以面积归一法,计算各脂肪酸的相对百分含量.结果显示,乌骨鸡总磷脂中含有硬脂酸27.46%、花生四烯酸21.39%、油酸18.22%、亚油酸16.67%、棕榈酸12.13%、二十二碳六烯酸(DHA) 2.26%、二十碳三烯酸1.71%、棕榈油酸0.16%.不饱和脂肪酸和多不饱和脂肪酸的含量分别为60.41%和42.03%.乌骨鸡磷脂侧链脂肪酸中高比例的多不饱和脂肪酸和花生四烯酸含量是乌骨鸡磷脂的显著特征. 相似文献
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通过实验分析确立了把光纤电阻作为衡量气密性碳涂覆光纤通过2%应变筛选的过渡标准。要拉制2%应变筛选的碳涂覆光纤,其电阻值应小于30kΩ/cm。 相似文献
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