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对不同的本底真空条件下,采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术沉积的氢化微晶硅(μc_Si∶H)薄膜中的氧污染问题进行了比较研究.对不同氧污染条件下制备的薄膜样品的x射线光电子能谱与傅里叶变换红外吸收光谱测量结果表明:μc_Si∶H薄膜中,氧以Si—O,O—O和O—H三种不同的键合模式存在,不同的键合模式源自不同的物理机理.μc_Si∶H薄膜的Raman光谱、电导率与激活能的测量结果进一步显示:沉积过程中氧污染程度的不同,对μc_Si∶H薄膜的结构特性与电学特性产生显著影响;而不同氧污染对μc_Si∶H薄膜电学特性的影响不同于氢化非晶硅(a_Si:H)薄膜.
关键词:
氢化微晶硅薄膜
甚高频等离子体增强化学气相沉积
氧污染 相似文献
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Nd:GdVO4单晶的生长、位错和形貌 总被引:4,自引:1,他引:3
用提拉法生长出掺钕钒酸钆(Nd:GdVO4)单晶,并且采用化学浸蚀法在偏光显微镜下观察了位错蚀坑,测定了(100)面晶体位错密度为600个/mm^2。观察了不同提拉方向的晶体生长形貌,可采用简单光学方法确定晶体方向。 相似文献
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《光学学报》2003,23(11):334-1334
20 0 3年 10月 8~ 10日在“六朝古都”南京胜利召开了全国第 11次光纤通信暨第 12届集成光学学术大会。本次会议由中国通信学会光通信专业委员会 ,中国电子学会通信学分会 ,中国光学学会纤维光学与集成光学专业委员会主办。由南京邮电学院和南京富士通通信设备有限公司共同承办。并且得到江苏中天科技有限公司、江苏永鼎股份有限公司、长飞光纤光缆有限公司和康宁 (中国 )有限公司的赞助。大会安排了如下特邀报告 :“2 0 0 2~ 2 0 0 3年光纤通信技术的进步” (赵梓森院士 ) ,“光传送网 (OTN )的保护倒换技术”(毛谦高级工程师 ) ,“智… 相似文献
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五、ICM第二十四届会议 ( 2 0 0 2 )1 986年奥克兰举行的 IMU第十次代表大会上 ,中国数学会成为其正式成员。 1 998年德累斯顿的 IMU第十三次代表大会上 ,北京当选为 ICM-2 0 0 2的举办地。自此又经过了四年积极筹备和漫长期待 ,2 0 0 2年 8月 2 0日至 2 8日 ,第 2 4届 ICM在北京隆重召开了。这是新世纪第一次、我国也是发展中国家第一次举办的国际数学家的最高盛会 .这次大会有来自 1 0 1个国家和地区的 42 70名代表注册 ,创造 ICM的历史新高。这些代表中 ,1 %来自澳洲 ,3 %来自非洲 ,56%来自亚洲 ,1 6%来自美洲 ,2 4%来自欧洲 ,其… 相似文献
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Chemical Potential Dependence of the Dressed-Quark Propagator in a Simple Confining QCD Model 下载免费PDF全文
ZONGHong-Shi HOUFeng-Yao CHENXiang-Song LIUYu-Xin 《中国物理快报》2004,21(7):1232-1235
Based on the Dyson-Schwinger approach, a method for obtaining the chemical potential dependence of the dressed quark propagator in the ‘Nambu-Goldstone‘ and the ‘Wigner‘ phase is developed. The bag constant in the presence of the non-zero chemical potential is analysed. 相似文献
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药用植物化学分类法与红外指纹图谱的相关性研究 总被引:27,自引:6,他引:21
本文首次采用傅里叶变换红外光谱法(FTIR)对五加科、桔梗科、木兰科、樟科、豆科、蕨类等科目中的典型药用植物进行了系统研究,比较了各科内植物的异同,并且讨论了相同植物不同药用部位、不同采药时间对其红外谱图的影响。结合药典中关于药物主体有效成分的记载,分析了各药用植物谱图中主要成分的特征基团,对主要吸收峰进行了指认。在传统形态比较分类方法的基础上,FTIR可以成为一种快速、可靠、客观、有效的化学分类学的补充方法。 相似文献
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曲安京 《纯粹数学与应用数学》1997,13(Z10):29-34
调日法是中国古代历算家发明并使用的一种实数的有理逼近算法。本文根据宋代秦九韶《数书九章》中的有关史料,探讨了唐宋历法中普遍采用的10x型与100x型之日法的调取算法。结论是,唐宋时期的调日法,与南北朝何承天(370-447年)草创的算法不尽相同。 相似文献