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共有20条相似文献,以下是第1-20项 搜索用时 203 毫秒

1.  静电伺服微加速度计的量程设计  被引次数:3
   何晓平  张德  文贵印《中国惯性技术学报》,2003年第11卷第6期
   详细推导了静电伺服加速度计在定极板上施加直流偏压、交流驱动电压,动极板上有反馈直流电压和交流检测电压的情况下,检测质量(动极板)受到的静电力。通过对静电力的分析,得出静电伺服彻。速度计的量程除了受系统能提供的最大静电力限制外,还需满足电刚度小于与机械刚度的条件,该电刚度是极板上所有的直流电压、交流电压产生的电刚度之和。离心实验证明,利用该原则设计的“叉指”结构静电伺服微加速度计的量程达到了设计值。该设计原则可以为此类加速度计的设计提供参考。    

2.  一种谐振式微加速度计表芯非线性动力学分析及实验  
   刘恒  刘清惓  孟瑞丽《中国惯性技术学报》,2012年第4期
   在研制基于静电刚度谐振式微加速度计过程中,发现增大激励电压可以提高输出信噪比,但响应的振动幅度将不稳定,同时谐振频率也将会出现漂移。针对上述问题,建立了静电驱动微机械谐振系统等效行为模型,非线性动力学理论分析结果与实验现象一致,总结出需要从加速度计结构参数优化和减小激励电压两个方面来减小频率漂移和提高分辨率。将结构优化准则应用到制造的微加速度计上,实验结果表明:在5 V敏感电压下,闭环条件下单梁加速度计灵敏度为58 Hz/g,分辨率为3.5 mg。    

3.  硅微机械陀螺仪的新进展及其方案分析  被引次数:8
   阮爱武  冯培德  郭秀中《中国惯性技术学报》,1998年第2期
   介绍了国外硅微机械陀螺仪的新进展,综述了梳状驱动振动陀螺仪、压电棒式振动陀螺仪、电磁驱动音叉陀螺仪、振环陀螺仪、静电悬浮转于陀螺仗和微机械加速度计陀螺仪的结构、原理及性能。关键词    

4.  “叉指”式静电伺服微加速度计敏感芯片的设计  
   何晓平《工程物理研究院科技年报》,2004年第1期
   “叉指”式静电伺服微加速度计具有零频率响应、精度高、可批量加工等优点,成为中高精度加速度计的主要研究对象。利用MEMS技术加工这种加速度计敏感芯片的各组件是波形加工的,无需装配,这个一次加工成型的芯片应同时满足微加速度计的多项性能指标,故设计时需兼顾多个参数。    

5.  国外微机械惯性仪表的进展  被引次数:4
   高钟毓《中国惯性技术学报》,1996年第1期
   本文综述了国外微机械惯性仪表的进展;分别介绍了微硅型加速度计、微硅型陀螺仪、多功能加速度计陀螺以及微惯性测量单元的原理、结构、电路组成及性能指标;初步探讨了这类仪表的应用前景和技术发展的途径。    

6.  静电悬浮转子微陀螺及其关键技术  被引次数:11
   崔峰  苏宇锋  张卫平  吴校生  陈文元  赵小林《中国惯性技术学报》,2005年第13卷第6期
   静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子微F1螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺/加速度计晌关键技术如静电稳定悬浮、微位移检测控制、静电恒速旋转驱动、微机械加工和真空封装技术等进行了探讨。指出这一新颖MEMS陀螺是高精度多轴集成微惯性传感器技术发展的一个重要方向,具有广阔的应用前号和较大的发展潜力。    

7.  静电悬浮式惯性仪表中的微位移检测技术  被引次数:3
   韩丰田  吴秋平  董景新《中国惯性技术学报》,2007年第15卷第1期
   静电陀螺仪、空间静电加速度计等基于静电悬浮的惯性仪表在高精度的惯性导航和空间微重力测量领域得到广泛应用。近年来,对基于MEMS工艺的悬浮式微惯性传感器的研究引起了广泛的重视。介绍了静电悬浮式惯性仪表中采用的差动电容式微位移检测电路的原理,分别对静电陀螺、静电加速度计和MEMS微陀螺、微加速度计的电极配置方案和位移检测的接口电路进行了分析,并对不同的位移检测方案进行了比较.    

8.  三轴硅微静电加速度计的实验研究  
   王嫘  韩丰田  董景新  刘云峰《中国惯性技术学报》,2011年第19卷第3期
   静电加速度计依靠可控静电力将敏感质量无接触地悬浮在电极腔内,在空间微重力环境下通过降低带宽和量程可以实现极高的分辨率.设计了一种采用玻璃硅-玻璃“三明治”结构、环形敏感质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,对加速度计的力/力矩平衡回路进行了分析.采用基于DSP的数字控制器,实现了环形敏感质量的五自由度稳定悬浮,在大气环境下测试了静电加速度计的性能.电测法测试结果表明静电加速度计的轴向量程4.22 g,噪声谱密度0.19 mg/Hz1/2;径向量程4.63 g,噪声谱密度0.44 mg/Hz1/2.    

9.  梳齿式微机械力平衡加速度计  被引次数:10
   马欣龙  王永梁《中国惯性技术学报》,2002年第10卷第3期
   讨论了一种梳齿式微机械加速度计,介绍了表头微机构的特点和系统工作原理。通过对加速度计机械模型的分析,计算得出了加速度计的主要设计性能指标。另外还比较完整的提供了加速度计各项性能试验的数据,试验结果与理论分析能很好地吻合,说明加速度计的性能指标基本达到设计要求,证明这种加速度计的设计是成功的。    

10.  基于电容检测接口ASIC的闭环微机械加速度计  
   刘民杰  刘云峰  董景新《中国惯性技术学报》,2012年第1期
   对于采用微传感器和接口ASIC两芯片方案来实现的电容式微机械加速度计来说,寄生电容是影响其性能的重要因素之一。采用采样电荷结构,设计实现了电容检测接口ASIC电路,该电路具有对寄生电容不敏感的特点,并在0.35-μm CMOS标准工艺下流片实现。基于流片得到的电容检测ASIC样片,以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,通过力平衡反馈方案设计实现了一种闭环微机械加速度计。实验结果表明:该闭环微加速度计的灵敏度为650 mV/g,噪声基底为23.17μg Hz。    

11.  大冲击后力反馈微加速度计吸合失效与防止  被引次数:1
   万蔡辛  董景新  刘云峰《中国惯性技术学报》,2007年第15卷第5期
   冲击载荷强迫微加速度计的敏感质量大大偏离平衡位置,使差动静电力发生器的非线性效应体现出来,其结果是使正常工作时敏感质量仅在平衡位置附近有微小位移的状况下成立的负反馈闭环系统模型不再适用,敏感质量的受控特性可能变为正反馈,从而使微加速度计失效。为提高微加速度计受外界大载荷冲击后的可靠性,分析了加速度计的敏感质量在不同限制的静电反馈力下的受控特性及对应的闭环系统特性,推导了在已知止挡机械参数下确定微加速度计相应电气参数从而避免此类失效的防吸合准则。多次的验证实验表明,按防吸合准则设计了系统参数的静电力反馈加速度计,在受到远超过其本身量程的载荷冲击后,可以100%地防止吸合现象的出现。    

12.  级联式高阶∑?M数字式闭环微机械加速度计  
   陈方  刘卫平  刘礼  张勇军《中国惯性技术学报》,2016年第3期
   基于Sigma-delta Modulator(∑?M)原理的数字闭环微机械加速度计不仅实现了力反馈闭环控制,同时直接完成信号的模数转换。基于全差分式电容微加速度设计了一种2-2级联式(MASH)高阶∑?M闭环系统——MASH2-2,并与传统的单环路二阶、四阶∑?M 闭环系统(SD2、SD4)进行了仿真分析比较,研制了原理样机。微加速度计是基于结构层厚度50mm的SOI硅片通过DRIE刻蚀、气态HF释放等一系列微加工工艺得到,系统电路以数字化方式集成在FPGA中。常压下测试结果表明,样机的灵敏度为0.876 V/g,噪声基底为-110 dB,零偏不稳定性为20mg,静态温漂为40.8mg/℃,量程为±20 g。    

13.  硅微谐振加速度计交流检测信号解耦技术  
   王巍  王岩  庄海涵  邢朝洋《中国惯性技术学报》,2012年第4期
   硅微谐振加速度计以高精度的频率信号输出及潜在的敏感结构与处理电路实现一次集成的优势,成为硅微传感器研制的热点之一。针对交流检测信号耦合效应对硅微谐振加速度计性能的重要影响,在分析硅微谐振加速度计工作机理的基础上,从结构和电路两方面研究了交流检测信号耦合效应的来源,分析了耦合效应对检测电路和闭环控制精度的影响。采用双质量块结构方案和电路优化设计所研制的硅微谐振加速度计,基频为15 kHz,标度因数为36 Hz/g,量程为±30 g。试验证明耦合效应对仪表性能的影响降低到0.3 mg以内。    

14.  硅微谐振加速度计的温度特性  被引次数:1
   王巍  王岩  庄海涵  邢朝洋《中国惯性技术学报》,2013年第2期
   硅微谐振加速度计以其小体积、低成本和高精度的频率信号输出,成为硅微惯性传感器研制的热点之一.温度特性是影响硅微谐振加速度计精度水平的重要因素.在分析硅微谐振加速度计工作机理的基础上,从结构设计方法、工艺流程加工和闭环控制回路方面分析了温度对零位和标度因数的影响因素,同时给出了相应解决措施.研制的硅微谐振加速度计基频约为17 kHz,标度因数约220 Hz/g,在-40~+70℃范围内,谐振频率的温度系数为-71.5×10-6/℃,标度因数的温度系数为-610×10-6/℃,样机在常温下谐振频率的相对稳定性为0.313×10-6,1.5 h 零偏稳定性达到42.5μg.    

15.  静电加速度计悬浮质量块质心偏移量在轨标定  
   廖鹤  董丰  向小丽  王本利《中国惯性技术学报》,2008年第16卷第6期
   高精度静电加速度计已广泛地应用于航天任务中,用于测量作用于航天器的非引力加速度。如果静电加速度计悬浮质量块的质心与航天器的质心安装有偏差时,重力梯度力、姿态耦合产生的干扰加速度,静电加速度计控制系统引入的干扰加速度等干扰力会夹杂在测量数据中。针对这一问题,研究了航天器小质量特性变化情况下,当静电加速度计处于动态设计良好并进入稳态后,利用静电加速度计、陀螺仪和磁强计作为敏感元件,基于非线性卡尔曼滤波理论的静电加速度计悬浮质量块质心偏移量的在轨标定。仿真结果表明,该方案的精度J向可以达到0.1mm,Y和Z向能达到0.04mm。    

16.  三明治结构微机械静电伺服加速度计稳定性研究  
   陈宇晓  文贵印《中国惯性技术学报》,2003年第11卷第1期
   对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析,给出了最小临界偏压和最大可随横向加速度的计算公式,提出一种具有良好稳定性的四梁中心悬臂式结构。根据Matlab仿真结果,在大量程微加速度计典型结构参数下,惯性敏感单元可承受的最大横向加速度达2000g以上,远远满足实际需求。    

17.  六轴硅微静电加速度计的悬浮回路设计  
   段光武  韩丰田  付真斌《中国惯性技术学报》,2010年第18卷第2期
   传统的静电加速度计在空间微弱加速度测量方面可以获得极高的分辨率。提出了一种采用静电悬浮、可实现六轴加速度测量的微静电加速度计。敏感组合件采用玻璃-硅-玻璃三层键合结构、体硅加工工艺;检测质量采用“回”字形结构,以提高加速度计的径向量程和刚度。利用有限元软件分析了大气环境下检验质量的气模阻尼特性,对六自由度静电悬浮回路进行了建模与分析,提出了实现六轴加速度检测的控制方案。给出了静电悬浮回路的仿真结果,评估了六轴加速度计的性能。    

18.  双光纤Fabry-Perot干涉仪差动检测静电伺服硅微加速度计  
   李莉  张春熹  林恒  刘惠兰《中国惯性技术学报》,2005年第13卷第6期
   详细介绍了一种新型的基于双光纤Fabry-Perot干涉式(以下简称DFPI)差动检测的静电伺服硅微加速度计的设计。通过结构建模以及模型仿真得到该加速度计的分辨率为0.2ug,测量范围为0.2ug~1g。    

19.  微硅加速度计的超精细加工  
   张家跃《中国惯性技术学报》,1996年第2期
   本文讨论了各向异性腐蚀的机理;硅的各向异性腐蚀设计;双面光刻等与微硅加速度计有关的超精细加工问题。    

20.  微机电系统与微加速度计  被引次数:3
   张霞《物理与工程》,2004年第14卷第1期
   本文简要介绍了具有高新技术特征的微机电系统,以及一种典型的微机电系统器件——微加速度计。    

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