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相似文献
 共查询到17条相似文献,搜索用时 125 毫秒
1.
张文涛  朱保华  黄静  熊显名 《物理学报》2011,60(10):103203-103203
分析了椭圆激光驻波场的偏斜对中性原子运动过程和沉积过程的影响,对不同偏斜角度椭圆激光驻波场作用下中性铬原子沉积纳米光栅结构的特性进行了仿真研究,由仿真结果可以看出,随着偏斜椭圆形激光束偏斜角的增加,对应于不同y平面,激光驻波场汇聚中性原子所形成纳米光栅条纹的对比度不断减小、半高宽不断增大.当椭圆长短轴之比为2:1条件下,椭圆激光驻波场的偏斜角为0°时,纳米光栅的条纹半高宽为3.2 nm,条纹对比度为36:1,而当偏斜角为15°时,激光驻波场中心位置处的沉积条纹的半高宽为6.5 nm,条纹对比度为24:1,而当椭圆激光驻波场偏斜角度达到30°时,沉积条纹的单峰结构将会产生分裂,形成了双峰结构,且随着偏斜角的增加,沉积条纹的分裂越严重,纳米光栅的沉积质量越差.对于其他长短轴比例条件下的激光场亦可根据比例关系获得相应的纳米光栅沉积特性. 关键词: 原子光刻 偏斜椭圆激光驻波场 纳米光栅  相似文献   

2.
激光会聚铬原子光栅三维特性分析   总被引:3,自引:1,他引:2  
采用近共振激光驻波场会聚铬原子沉积技术制作的原子光栅可以作为纳米级长度计量标准.基于粒子光学模型,综合考虑横向发散角、纵向速度分布以及同位素等影响因素,采用蒙特-卡罗方法确定原子运动的初始条件,对激光驻波会聚原子的三维特性进行了研究.获得了不同激光功率下沉积条纹的三维结构,分析了纵向高斯激光分布和椭圆高斯激光截面对沉积...  相似文献   

3.
张文涛  朱保华  汪杰君  熊显名  黄雅琴 《物理学报》2013,62(24):243201-243201
基于半经典理论,建立了中性原子与激光驻波场相互作用的模型,分析了中性原子在激光驻波场沟道效应作用下运动轨迹及沉积特性,探讨了球差、色差和原子束发散角对沉积条纹的影响. 得到了上述三种影响因素下纳米光栅的半高宽分别为0.532,12.16,96.70 nm. 仿真结果表明,随着原子束发散角度的增加,沉积条纹的对比度将会下降,当原子束发散角分别为0.1 mard时,其对比度为85.2:1,发散角为0.3 mrad时,条纹对比度为5.33:1,而当发散角增加至0.5 mrad以上时,沉积条纹将会出现分裂现象,导致条纹的恶化. 关键词: 激光驻波场 纳米光栅 沟道效应  相似文献   

4.
中性钠原子在激光驻波场中的运动特性研究   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
张文涛  朱保华  熊显名 《物理学报》2011,60(3):33201-033201
基于半经典理论,分析了中性钠原子在激光驻波场中的受力特征,以此为基础分别对不同纵向运动速度和横向运动速度条件下中性钠原子的运动轨迹进行了仿真运算,得到了不同速度条件下中性钠原子的运动轨迹特征,基于累计算法进一步对不同速度条件下中性钠原子的沉积特性进行了仿真,当钠原子的纵向运动速度符合最可及速度(740 m/s)时,纳米沉积条纹的半高宽为2.78 nm,条纹对比度为38.5 ∶1,当纵向运动速度偏离最可及速度(350 m/s)时,纳米沉积条纹的半高宽为29.1 nm,其对比度下降为15 ∶1.而当中性钠原子 关键词: 原子光刻 激光驻波场 条纹半高宽 条纹对比度  相似文献   

5.
张文涛  朱保华 《物理学报》2010,59(8):5392-5396
利用近共振激光驻波场操纵中性原子实现纳米量级条纹沉积技术是一种新型的研制纳米结构长度传递标准的方法,采用了一种新颖的方法,通过预准直孔的设定,将原子束在空间分成三部分,利用中间部分的原子束和近共振激光驻波场相互作用,在激光驻波场辐射压力作用下使原子按照特定周期沉积在基板上,从而实现纳米条纹的制作.利用两侧部分的原子束与探测激光束相互作用,通过其感生荧光来监测中间部分原子束沉积过程中的准直效果,从而为原子的沉积过程提供实时的原子束特性监测.最后对纳米沉积条纹在经由三狭缝预准直结构作用前后的效果进行了三维仿真,结果表明,未采用该三狭缝预准直结构时,纳米沉积条纹的半高宽为32nm,对比度为8∶1,而采用该三狭缝预准直结构之后,纳米沉积条纹的半高宽为6.2nm,对比度为28∶1,大大提高了纳米沉积条纹的质量.  相似文献   

6.
激光驻波场中Cr原子运动轨迹与汇聚沉积的分析   总被引:3,自引:0,他引:3       下载免费PDF全文
利用半经典模型,从铬原子在激光驻波场中的运动方程出发,通过数值解方法模拟了铬原子在驻波场中的运动轨迹,并分析了原子的纵向速度分布和准直程度及球差对沉积条纹结构的影响,同时也讨论了基片摆放位置对沉积条纹结构的影响,并通过实验得到了纳米光栅条纹结构. 关键词: 激光驻波场 原子沉积 运动轨迹 沉积分布  相似文献   

7.
利用激光驻波场会聚原子沉积纳米结构的技术可以用来研制纳米结构长度传递标准.当激光驻波场的频率大于原子的共振频率时,原子由于受到偶极力的作用将被会聚到驻波的波节处.采用了一种新的技术方案减小了实验对大的激光功率的要求.利用激光驻波场会聚准直性较好的Cr原子,并使其沉积在硅基片上形成纳米光栅结构.经原子力显微镜测试表明纳米光栅的周期为215 nm. 关键词: 激光偶极力 纳米计量 原子沉积 蓝失谐  相似文献   

8.
激光汇聚Cr原子沉积的原子光学特性研究   总被引:4,自引:0,他引:4       下载免费PDF全文
卢向东  李同保  马艳  汪黎栋 《物理学报》2009,58(12):8205-8211
利用激光汇聚原子沉积技术,实验上获得了一维Cr层光栅结构.经原子力显微镜测试,其周期常数为(212.8±0.2) nm,约等于激光驻波场波长的一半.根据半经典理论模型,采用Adams-Bashforth-Moulton算法进行数值求解,模拟了同等实验参数条件下的Cr原子运动轨迹,并对其原子光学特性进行分析.结果表明,模拟分析与实验结果符合得较好. 关键词: 原子光学 激光汇聚原子沉积 原子光学特性  相似文献   

9.
原子光刻中驻波场与基片距离的判定方法研究   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
王建波  钱进  殷聪  石春英  雷鸣 《物理学报》2012,61(19):190601-190601
原子光刻实验中, 激光驻波场能起到原子透镜的效果, 实现原子汇聚. 激光驻波场与沉积基片间的距离对形成纳米条纹结构的质量具有重要影响. 利用高斯光束传播规律, 提出了一种能够定量判断激光驻波场与沉积基片相对位置的实验方法. 该方法通过调节装载有凸透镜和反射镜的精密位移台改变驻波场距基片的距离, 利用光电探测器接收反射光强的变化, 将位移改变量转变为接收器的电压信号. 利用驻波场激光束光斑直径值, 实现准确定位驻波场与基片的距离. 对上述实验过程进行数值模拟, 数值计算的结果和实验结果高度符合. 该方法实现了准确定位驻波场距基片的距离, 为后续深入研究驻波场和基片间距离对沉积纳米条纹结构质量的影响提供实验基础.  相似文献   

10.
张文涛  朱保华  熊显名  黄静 《物理学报》2011,60(6):63202-063202
利用近共振激光驻波场操纵中性原子实现纳米光栅的沉积是一种新型的研制纳米结构方法,处于激光驻波场中的原子运动速度特性对最终纳米光栅的沉积特性有着重要的影响.利用半经典理论,基于4阶Runge-Kutta算法进行了不同铬原子纵向和横向运动速度条件下纳米光栅结构沉积的仿真研究.研究表明,铬原子纵向速度为最大概率速度960 m/s时,所形成的纳米光栅的半高宽为1.49 nm,对比度为62.1 ∶1,当铬原子的纵向速度为半最大概率速度480 m/s时,纳米光栅的半高宽为5.35 nm,对比度下降为25.6 ∶1.同 关键词: 原子光刻 纳米计量 激光驻波场 纳米光栅结构  相似文献   

11.
原子通过激光冷却技术能够被制备在低温状态,这时冷原子云会展现出量子力学的波动性.研究了一束冷原子入射到一个蓝失谐的激光束上所表现出的量子力学隧穿效应.蓝失谐的激光束相对于冷原子而言等效于一个量子力学势垒.根据二能级模型,在理论上分析了具有内部结构的原子矢量物质波穿过激光束的量子力学反射与透射,特别是对原子穿越激光束所需的时间——量子隧穿时间进行了详细的研究.量子力学波动性使得冷原子穿越一个激光束时明显地展现出与经典粒子(热原子)不同的结果. 关键词: 冷原子 原子光学 量子隧穿  相似文献   

12.
程存峰  杨国民  蒋蔚  潘虎  孙羽  刘安雯  成国胜  胡水明 《物理学报》2011,60(10):103701-103701
高强度的亚稳态惰性原子束流在原子分子物理实验研究中具有广泛的应用.使用射频电离方法和激光横向冷却技术制备了高强度的亚稳态氪原子束流,并使用数值模拟方法对横向冷却激光场中的原子径迹进行了分析.通过激光诱导荧光光谱方法测量原子束的束流特性,结果显示,横向冷却后在束流源下游230 cm处的原子束流强度达1.6atoms/(s*sr),束流强度提高了两个量级.利用这种高强度原子束流,我们成功囚禁了1.3×1010个亚稳态84Kr原子,同时冷原子装载速率达到了3.0×1011atoms/s;并利用该装置成功地实现了高亮度的亚稳态氩原子束和原子阱. 关键词: 横向冷却 原子束 原子阱 惰性气体  相似文献   

13.
赵敏  王占山  马彬  李佛生 《光学学报》2008,28(2):381-386
采用量子模型对近共振激光驻波原子透镜会聚Cr原子束、形成纳米量级光栅结构的物理过程进行数值模拟。为提高原子透镜的成像质量,对各种像差,如衍射像差、球差、色差、及原子束发散角、原子磁支能级、原子同位素等因素引起的像差进行了理论分析。模拟结果表明,相比粒子光学模型,量子模型能更加精确地描述原子会聚结果,且能解释原子在驻波光场中的衍射现象。在各种像差中,原子束发散角是最主要的因素,其影响大于衍射像差、球差、色差。原子的磁支能级、同位素等因素对像差影响很小,可以忽略不计。激光冷却准直原子束的方法可以减小束发散角引起的像差,压缩原子速度Vz分布范围的方法可以减小色差。  相似文献   

14.
张文涛  朱保华  黄静  熊显名  蒋曲博 《中国物理 B》2012,21(3):33301-033301
The characteristics of neutral chromium atoms in the standing wave field are discussed.Based on a semi-classical model,the motion equation of neutral atoms in the laser standing wave field is analyzed,and the trajectories of the atoms are obtained by simulations with the different divergence angles of the atomic beam.The simulation results show that the full width at half maximum(FWHM) of the stripe is 2.75 nm and the contrast is 38.5:1 when the divergence angle equals 0 mrad,the FWHM is 24.1 nm and the contrast is 6.8:1 when the divergence angle equals 0.2 mrad and the FWHMs are 58.6 and 137.8 nm,and the contrasts are 3.3:1 and 1.6:1 when the divergence angles equal 0.5 and 1.0 mrad,respectively.  相似文献   

15.
吴歆宇  韩伟华  杨富华 《物理学报》2019,68(8):87301-087301
在小于10 nm的沟道空间中,杂质数目和杂质波动范围变得十分有限,这对器件性能有很大的影响.局域纳米空间中的电离杂质还能够展现出量子点特性,为电荷输运提供两个分立的杂质能级.利用杂质原子作为量子输运构件的硅纳米结构晶体管有望成为未来量子计算电路的基本组成器件.本文结合安德森定域化理论和Hubbard带模型对单个、分立和耦合杂质原子系统中的量子输运特性进行了综述,系统介绍了提升杂质原子晶体管工作温度的方法.  相似文献   

16.
We investigate the interaction of a standing-wave light field with the beam of two-level atoms moving in the Bragg regime. The atomic beam consists of two different isotopes and the density is sufficiently small so that at most one atom is inside the cavity at any time. The experimental setup is such that both the isotopes have the same momenta. The momentum transfer between the atoms and photons in the process essentially effects the center-of-mass motion of the atoms, thus separating the isotopes in different directions after specific interaction times.  相似文献   

17.
The Antiproton Decelerator (AD) devoted primarily to atomic physics experiments has been stably operated since 2000. Until now, three proposals have been approved, two of which are on the production and spectroscopy of antihydrogen, and the third one is on atomic collisions and precision spectroscopy of antiprotonic atoms, ASACUSA collaboration. One of the unique features of the ASACUSA collaboration is to develop intense slow and ultra slow antiproton beams of high quality, which will open a new multidisciplinary field involving atomic physics, nuclear physics and elementary particle physics. The ultra slow antiprotons will be prepared by combining the AD (down to 5.3 MeV), the RFQD (Radio Frequency Quadrupole Decelerator) (down to several tens keV), and an electron cooling device which will be called “MUSASHI” (Monoenergetic Ultra Slow Antiproton Source for High-precision Investigations) (down to several eV). MUSASHI produces the eV antiproton beam through an electron cooling of trapped antiprotons and a radial compression followed by an extraction through a transport beam line. The transport beam line is specially designed so that the pressure at the trap region can be maintained more than six orders of magnitude better than the collision region and at the same time the transport efficiency is kept at almost 100%. The ultra slow antiproton beam allows for the first time to study collision dynamics such as antiprotonic atom formation and ionization processes under single collision conditions, and also to study spectroscopic nature of various metastable antiprotonic atoms such as p, He+, He++, etc. Metastable p are particularly interesting because they allow to make high precision spectroscopy of two body exotic atoms. Production and spectroscopy of antiprotonic atoms consisting of unstable exotic nuclei will also be discussed. This revised version was published online in August 2006 with corrections to the Cover Date.  相似文献   

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