兆赫级超声清洗:一个新的用于半导体工艺中的清洗和烘干装置

在半导体器件制造的各个阶段用于清洗晶片的一个紧凑的装置已经研制成功。这个装置使用高频(0.8MHz到1MHz)超声能(这里用“兆赫级超声”这个词)和常温下的标准化学溶液。这项已获专利的工艺能同时从晶片的正反两面有效地除去直径约0.3μm的粒子、有机物薄膜和许多离子杂质。经简单漂洗后,晶片放在热气流中烘干。整个处理时间约15分钟,并且至少100片晶片能同时在石英或塑料支架上清洗,无需装上卸下。     

色偏振演示实验的改进

目前在大学物理课程中讲授偏振光干涉时，都少不了要随堂演示色偏振实验．但基本上都以改变晶片厚度来形成干涉彩色图象．本文采用改变晶片折射率的方法来演示色偏振现象，这一方面可开拓，学生研究问题的思路，另一方面使物理实验和实际应用能紧密结合起来．一、平行的平面编振光的色偏振原理偏振光干涉实验装置如图1所示．当二块平行放置的偏振片M和N互相正交，且未引入晶片C时，没有光能通过偏振片N，当引入一个光轴平行于晶面的晶片C后，则在偏振片N后的视场中可见到光．若光源为白光，且为平行光，则对一定厚度的晶片C，出射的光呈…     

医用梅花形超声探头声场的分析与计算

本文根据基尔霍夫积分．推导出了用于胎儿监护的梅花形超声多普勒探头声场的具体表达式．对中心大圆晶片发射、周围六个小圆片接收，以及七个相同晶片四发三收两种典型布局的换能器，其轴上声压分布，离辐射面不同距离断面上的声压分布及不同定向平面上的远场指向性进行了数值计算．结果表明，采用四发三收式结构较一发六收式结构具有较大的优越性．计算结果与实际测试结果很好地吻合．本项研究对此类探头的研制、使用及质量评价标准的制订，具有理论指导意义．     

“血液流变性”教学过程中的难点突破

对于医学大专生来说，血液流变性是他们学习中的难点．要了解血液流变性，必先学好牛顿液体的内容，即稳流、层流和湍流．在学好牛顿液体的基础上，进一步学习非牛顿液体的内容，才能真正了解血液的流变性，因此，教学的重难点应在牛顿液体与非牛顿液体及其不同之处上．     

一种手持便携式核磁共振样品管高压清洗器的设计与实现

在液体核磁共振（NMR）实验使用的耗材中，NMR样品管用量非常大，通常需经清洗后回收利用.NMR样品管的清洗效率及清洗后的洁净程度直接影响到NMR实验的进程，清洗过程中产生的废液也将对环境产生影响.本文首先介绍了一款自主设计的手持便携式NMR样品管高压清洗器，并对该装置的结构和功能做了详细的说明.然后，对曾装存过不同溶剂和溶液的NMR样品管，分别利用该装置和商用NMR样品管清洗装置进行清洗，并比较了清洗效率和效果.最后，对利用此高压清洗器清洗NMR样品管时，NMR样品管的损伤程度进行了评估.结果证实，对于没有样品严重附着管壁的NMR样品管，本文设计的装置清洗效果良好、效率高；并且清洗过程中不使用有毒的有机溶剂，非常环保；而且对NMR样品管损伤较小.     

纳米孪晶纯铜的强度和导电性

强度和导电性是金属材料的两个至关重要的性能．常用的金属材料强化方式往往是在提高强度的同时使材料的导电性能明显损失，文章介绍了采用脉冲电解沉积技术制备出具有高密度孪晶片层结构的纯铜薄膜．这种具有纳米尺度的孪晶片层结构的纯铜材料不仅具有非常高的拉伸强度，同时还具有非常高的导电性．拉伸实验表明，当孪晶片层平均厚度小到15nm时，样品的拉伸屈服强度可达900MPa，断裂强度高达1068MPa(约为普通纯铜的10倍以上)，并具有与无氧高导铜相当(97％IACS)的室温电导率．     

用X射线形貌术测定晶片的曲率

人区培育的晶体或天然的晶体一般都带有一定程度的应变.用单晶体制作器件时,往往又需加工成较薄的晶片.通过各种工序,晶片受到机械、高温等的作用,将进一步产生范性或弹性形变.过大的形变会影响器件的性能,甚至不能使用.因此,对不同工艺过程中的晶片或经过使用的成品晶片,进行弯曲形变程度的非破坏性定量测定是十分必要的. Juleff[1]曾对硅单晶器件晶片的单轴均匀弯曲用X射线形貌照相法作过测量.Cohen[2]曾用双晶衍射仪测定晶片弯曲.这些方法分析了单轴均匀弯曲且弯曲轴垂直于仪器水平面的情形.本文对适用性强而又简匣的透射形貌术用于星…     

双折射调谐器设计的等色图原理

提出双折射调谐器设计的等色图方法，给出原理。分析表明当晶片光轴处在以折射光线为轴线、顶角为４５°的圆锥面上时，双折射调谐器具有最快的波长调谐速率；当光轴位于过折射光线并与入射面成４５°或１３５°的平面内时，调谐器抑制非所需波长的能力最强。由此给出光轴相对晶片表面的两个优化取向，对石英晶片它们分别为１８．７１２°和５９．９２２°。文中还给出了三块晶片组合的调谐器的设计例子，对其调谐特性进行了简要的讨论。     

液体的粘滞性应当如何理解

我们对于液体流动性的认识往往停留在理想液体的观念上，对于实际液体的粘滞性总是认识不足．尤其在粘滞性的教学上，往往给学生似懂非懂的感觉，为了突破难点，我们常以牛顿粘度定律为主来进行教学，从两个方面来认识它，以期达到难点突破的目的．     

超声清洗装置空化噪声谱分析法空化噪声级测量

空化强度是用以衡量液体介质中空化活动的剧烈程度,同时空化效应在超声清洗中起关键作用,因此,测量超声清洗槽中的空化强度便可了解其中空化活动的情况.当发生空化时,液体介质中会产生成分复杂空化噪声,对空化噪声谱进行分析和计算得到空化噪声级,据此可判断空化强度.实验测得结果表明:超声清洗装置内稳态空化分布广泛、均匀,瞬态空化分...     

接近玻璃转变

玻璃是黏性极大而且不能流动的液体．一个法国研究小组现在给出了一种确定玻璃态起始的测量方法．一些间接的证据指出，在降温过程中越来越多的液体部分一起运动时，液体开始进入玻璃态，这是因为黏性增加，越来越多的部分需要同时运动液体才能流动．Ludovie Berthier和其同事用过冷的甘油以及悬浮在液体中的小硬球来模拟并直接试验，计算出一起运动区域的大小，他们表示，这些区域的大小存液体向玻璃态的转变中逐渐增加．     

GaAs光电阴极热清洗工艺研究

GaAs光电阴极在进行Cs-O激活前．激活层表面必须达到原子级洁净。最常用且最有效的洁净方法是高温热清洗法。然而．在热清洗过程中对处在真空系统中的光电阴极表面温度进行精确测量却是非常困难的。本文采用四极质谱仪对GaAs光电阴极激活前的热清洗过程进行分析．确定了最佳的热清洗温度及热清洗工艺，较好地解决了GaAs光电阴极激活前的热清洗工艺问题。     

晶片融合产生长波低阈值垂直腔激光器

日本ＮＴＴ光电实验室的研究人员演示了一种以双ＩｎＧａＡｓ／ＩｎＰ－ＧａＡｓ／ＡｌＡｓ分布布喇格反射器为基础的１．５５μｍ输出垂直腔表面发射激光器（ＶＣＳＥＬ）。靠晶片融合进行的设计，其不匹配位错密度低于ＩｎＰ／ＧａＡｓ界面上的异质外延生长。这种直径为２５μｍ的器件在２３℃时的阈值电流为８．８ｍＡ，阈值电压为２．１Ｖ。在１０ｍＡ时实验了１．５５μｍ发射，最大输出功率为７μｗ。研究人员希望通过优化底部反射率提高最大输出功率。他们指出，长波ＶＣＳＥ有许多优点，包括在晶片融合前便于作谐振腔波长试验，以及…     

飞秒激光微加工蓝宝石晶片光纤压力传感器

提出了一种高温大量程的蓝宝石法布里-珀罗（F-P）干涉仪压力传感器。传感器由三层蓝宝石晶片直接键合而成，包括蓝宝石衬底、带通孔的蓝宝石晶片和感压蓝宝石晶片。飞秒激光用于在蓝宝石晶片的中心刻蚀通孔，并粗糙化感压蓝宝石晶片的外表面。利用蓝宝石晶片抛光面作为F-P腔的反射面，有助于降低解调出的光学腔长波动，提高压力分辨率。提出的传感器在室温、0～30 MPa的高压力范围内光学腔长随压力线性变化，压力灵敏度为0.1253μm/MPa，相对分辨率达到0.04%FS(full scale，全量程)，且能在700℃下稳定工作。     

新颖的激光清洗技术

利用激光来清除各种器件及材料表面上吸附的各种微粒及污染物，是近年来激光技术应用的一个迅速发展的方向．文章概述了激光清洗技术的最新发展，介绍了激光清洗技术的基本工艺过程及物理机制，讨论了其应用及发展方向等有关问题．     

一种非均匀厚度压电复合材料片宽带换能器的实验研究

本文利用１－３压电复合材料作为换能元件，通过特殊工艺制备成一面是平面，一面是球面的非均匀厚度压电振子，这种压电晶片加上激励电压后，不同厚度处以不同的共振频率振动，从而使压电晶片的振动频带加宽，本文介绍了这种压电晶片的机电特性，以及用这种压电晶片制成的宽带聚焦超声换能器的脉冲回波特性，此外，文中还对这种换能器与均匀厚度压电晶片换能器的脉冲回波特性进行了比较。     

我的悬浮实验

浮力是八年级物理的重点内容之一，其中对上浮和下沉以及漂浮和悬浮等现象的分析是教学中必不可少的．教学内容中的上浮和下沉很容易通过实验显现，漂浮的实验也很容易实现，而悬浮实验却一直是很多物理教师在课堂上有意回避的问题．究其原因，是真正的悬浮理应属于随遇平衡，即浸没在液体中的物体，可随时静止在液体中的任何位置不动．然而，事实上要精确到这样的实验要求，成功的概率很小．笔者查阅了许多相关材料，并且也做了很多次实验．     

装配前光学零件的超声清擦

用超声波清洗光学零件,可以显著提高生产效率,改善清洗质量。装配前,装配工人必须对光学零件的各个部位进行仔细的清擦。目前基本上停留在“转盘不离手、棉球接着丢”的传统手工清擦工艺水平上,清擦工人占有装配车间人数的60%左右,清擦工序占用了大量劳动力和工时,不能适应生产的飞跃发展。大家都知道,在装配车间对光学零件的清     

空间湍流的首次直接测量

在地球上，可以通过对一个容器中的液体的密度或速度等的测绘，很容易对湍流进行研究．在空间中，我们预期在太阳风、星际空间和黑洞周围的吸激盘中会发生湍流．在时空中测量流体那么容易．现在由4个监测等离子体的卫星组成的集群（cluster）提供了首次对空间中湍流的权威性的研究结果．     

超声检测用窄脉冲探头高阻抗背衬的研制

利用一种简单的压力装置，制作与PZT压电晶片匹配的背衬块，最高声阻抗可达25．1×106kg·m-2·s－1用于试制窄脉冲探头，可以实现1.5周期的脉冲．