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为了实现NA1.35投影光刻光学系统高质量成像,在设计过程中除了控制波像差,还需进一步优化光学系统的偏振像差。利用Jones光瞳和物理光瞳表达了NA1.35投影光刻光学系统的偏振像差,并用二向衰减量与延迟量分析了光学系统偏振像差的大小;根据光线入射到不同光学面上最大入射角度的不同,为每个光学面设计相应的膜系以优化光学系统的偏振像差。相比于采用常规膜系,膜系优化后NA1.35投影光刻光学系统的二向衰减量和延迟量分别减小到了0.021 8、0.057 2 rad,即减小了光学系统的偏振像差。利用Prolith光刻仿真软件,分别对采用常规膜系和优化膜系的NA1.35投影光刻光学系统进行曝光性能仿真,结果显示:膜系优化后光学系统的成像对比度提高了4.4%,证明了NA1.35投影光刻光学系统偏振像差优化方法的有效性。 相似文献
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提出了一种可用于指导非旋转对称、折反射式光学系统设计的Wasserman-Wolf曲面设计方法,并将其用于设计椭球形整流罩光学系统,得到的系统具有结构尺寸小的优点。利用最小二乘拟合的方法使系统初始结构兼顾各个扫描视场的像差校正需求,克服了以往只针对零视场计算校正元件初始参数致使扩展至整个扫描视场时系统评价函数难以收敛的弊端。同时,从平面对称的矢量像差理论出发,分析了平面对称反射镜的像差特性,阐述了在不同扫描视场中,利用反射镜倾斜来进行动态像差补偿的原理。设计了一套工作波段为中波红外的椭球形整流罩光学系统,该系统的调制传递函数(MTF)在整个扫描视场内接近衍射极限。 相似文献
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投影光学系统中的偏振像差分析 总被引:2,自引:0,他引:2
当光束斜入射时,光学薄膜存在一定的偏振效应。在飞利浦棱镜系统中,当一定大小孔径角的照明光束斜入射到分色合色薄膜后,S偏振分量和P偏振分量存在一定的相位差,使得线偏振光变成椭圆偏振光。利用琼斯矩阵偏振光线追迹的方法,分析了投影光学系统中由于两偏振分量相位差引起的偏振像差,以及它与暗态泄漏光强和系统衬比度的关系。得出了系统出瞳面上的光波偏振特性,以及在不同大小孔径角的照明光束入射下偏振像差的变化。分析了膜厚监控误差对光学系统偏振像差的影响,发现膜厚监控误差对偏振像差和系统衬比度有很大的影响。所使用的分析方法可以应用于其他大口径光学系统。 相似文献
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大数值孔径光学系统表面光线的入射角较大, 会导致薄膜的偏振分离, 诱发偏振像差, 影响光学系统的聚焦特性. 本文利用矢量光衍射理论, 建立了光学薄膜各参量与光学系统聚焦光场的模型. 利用该模型分析了线偏振光入射时, 光学薄膜对光学系统聚焦光斑的扰动. 在此基础上, 探讨了应用了不同约束条件下得到的光学薄膜对最终聚焦光场的影响, 确定了减小薄膜扰动光学系统光斑的设计方法, 即额外添加透射率差和位相差的约束条件, 并且适当增加位相差约束的权重. 利用该方法优化设计的薄膜, 相比于普通减反膜而言, 对系统聚焦光场中心强度的提升可达约12.5%. 相似文献
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基于平面对称光栅反射镜系统的像差理论,根据光学元件材料折射率对成像光束波像差进行修正,将像差理论扩展到平面对称折射光学系统,使得该理论可应用于光束斜入射的折反射组合光学系统的像差计算;指出在折反射组合光学系统中考虑物像方空间折射率的关系,以及入射角方向的定义,使得波像差的计算表达式保持统一;应用扩展后的像差理论对折反射... 相似文献
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非旋转轴对称光学系统波像差理论的建立有利于理解旋转 轴对称光学系统的装调误差和离轴三反射光学系统等非旋转轴对称光学系统的选型设计. 本文利用旋转轴对称球面光学系统的全口径初级波像差理论推导了子孔径面对称光学系统的初级波像差分布公式, 证明了面对称光学系统中的节点像差理论, 即除球差外的所有初级像差的零值节点偏离视场中心, 而不再是视场的旋转对称函数; 并首次阐述了多零值节点初级非对称像差产生的根源和变化特性. 该理论可以有效指导非对称光学系统初始结构的选择和优化设计过程.
关键词:
面对称
像差
几何光学 相似文献
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针对地基大口径望远镜的机上自适应光学系统构建的低轨空间目标偏振成像系统,提出一种基于非偏振标准星和机上起偏装置的宽带偏振定标方法。该方法以非偏振标准星作为光源,并在望远镜系统的一次像面处加入起偏装置对入射光的偏振态进行调制,再结合基于非线性最小二乘拟合的偏振定标方法分两步对整个偏振成像系统进行宽带偏振定标。为验证该偏振定标方法的效果,利用Matlab软件基于相干矩阵和偏振追迹构建了相应的模型进行仿真分析,仿真结果表明该偏振定标方法可以有效减小望远镜系统偏振效应对偏振探测准确性的影响,并且偏振定标元件的初始角度误差在±5°范围内时对偏振定标准确性的影响极小。 相似文献
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All-reflective optical systems have theoretically no chromatic aberration and are suitable for wide spectral application,
but co-axial reflective systems are difficult to design as low F-number optical systems. In this paper, the aberration of plane-symmetric optical systems with low F-number is analyzed based on the wavefront derived from optical path length. Up to third-order aberrations are classified
into three categories by their characteristics. The reduction method of the dominant aberration, astigmatism-like aberration,
is proposed. In the method, the Gauss image plane is modeled by means of a simplified mirror surface with third-order approximation.
Because the system is plane-symmetric, symmetric cross section and asymmetric cross section are modelled differently. The
design example of a three-mirror system with F/2 is shown. 相似文献
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AbstractThis article reports the operation of a cost-effective, colorless, dense wavelength-division multiplexing metropolitan network based on self-seeded reflective semiconductor optical amplifiers. All reflective semiconductor optical amplifiers used in the experiments are packaged in commercial small form-factor pluggable modules. The proposal architecture is simple and symmetric thanks to utilization of two cyclic array waveguide gratings. Downstream link functions in the C-band wavelength range and the upstream link functions in the L-band wavelength range. By using erbium-doped fiber amplifiers to extend the reach, an error-free transmission over 90 km for 16 channels at 2.5 Gb/s was experimentally demonstrated for both directions, and an optical budget over 35 dB was obtained. 相似文献
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Based on the methods to design the three-mirror reflective system, the aberrations formulae for the four-mirror optical reflection system have been deduced and presented for the first time. The diversity of parameter ranges for the designed system for different structures is also studied to select the parameters to obtain the practicable initial structure. Example designs with proposed methods are presented here and their performance evaluations demonstrate that the image qualities of these examples attain the diffraction limits. 相似文献
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强度调制型光纤传感器的补偿技术 总被引:12,自引:1,他引:11
采用光桥平衡技术可实现对强度调制型光纤传感器系统不稳定因素的补偿。文中给出透射式和反射式两种改进方案,对其进行了较详细地分析,提出的反射式光桥补偿的结构具有简单,可靠,实用的特点,实验结果与理论分析相一致,取得较好的补偿效果。 相似文献