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用已有的刻蚀发生器与AD250数控抛光设备进行有效地整合,建立了定域数控刻蚀平台,此实验平台在基片装夹和软件编程上都得到了一定提高,可以根据事先检测基片的干涉图在任意区域内进行编程加工,由于AD250数控抛光设备能够实现三维坐标控制,对刻蚀区域的大小和刻蚀深度可通过编程来实现,完全实现了数字控制加工的目的。在前期实验工作的基础上,根据Marangoni界面效应理论对刻蚀发生器进行改进,改进后的装置在Marangoni效应的稳定上有了很大提高,可以持续不间断的使被加工基片的区域保持Marangoni效应,由于此效应在整个数控化学加工中起核心作用,所以此项单元的改进使得对加工基片的尺寸得到很大扩展,理论上完全满足原型玻璃尺寸的要求,也为后期的数控化学大尺寸面型的修正提供了很好的技术基础,使这项技术在光学加工中的应用得到了保障。 相似文献
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对于需要4轴或5轴联动才能完成加工的零件,需要借助一些数控加工软件(如UG/CAM,Cimatron,Powermill等CAM软件)来生成用于数控加工的刀具轨迹。由于各种CAM软件产生的刀具轨迹只是刀位原文件,而不是数控程序,因此,就需要把这些刀位原文件转换成指定数控机床能执行的数控程序。后置处理器就是要根据指定机床运动结构和控制指令格式,将CAM软件产生的刀位原文件转换成机床各轴的运动数据,并按其控制指令格式进行转换,成为数控机床可识别的数控代码文件。 相似文献
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单点金刚石精密数控车削加工技术及发展前景分析 总被引:2,自引:0,他引:2
针对我国红外热像仪、探测仪及惯性约束核聚变工程对红外晶体类光学元件的需求,开展了单点金刚石精密数控车削加工技术的研究,分析了单点金刚石精密数控车削加工技术的特点及应用范围、机床整体布局及主体结构型式。介绍了该项技术在国内外的发展现状和趋势,对该项技术的应用发展前景进行了分析和预测。在消化和引进国外先进制造技术和最新研究成果的基础上,突破单点金刚石精密数控车削加工的关键制造技术,解决了我国光学非球面精密数控车削加工技术和设备依赖引进的问题,实现了单点金刚石精密数控车削加工技术及设备的国产化,提高了我国红外光学元件的精密加工技术水平和设备制造能力。 相似文献
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平面元件数控加工技术研究 总被引:2,自引:0,他引:2
利用从俄罗斯引进的AD 1000 数控研磨抛光机对Φ330mm ×35m m 、230m m ×230m m ×40m m 两块K9材料平面光学元件进行计算机控制抛光工艺研究。通过工艺研究全面熟悉了设备的技术特性和工艺软件特性,验证了AD 1000 数控研磨抛光机在加工高精度光学元件基板方面P V、RMS值收敛效果明显,较传统加工方法在效率上有极大提高。 相似文献
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螺纹加工方法最常见的是数控车削加工。探讨数控车削加工时根据不同的加工精度、不同的加工材料,分别选取不同的编程指令、不同的工件装夹方式、不同的加工刀具、不同的切削参数等,在实际螺纹数控车削加工中的合理性。 相似文献
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光学平台稳定性使用要求很高,结构形式复杂,使用环境苛刻,受不同类型载荷作用,对结构设计和加工工艺的要求非常严格。介绍了利用ANSYS结构分析软件对该光学平台在不同的简化结构条件下的计算机数值模拟结果,为其工程研制提供了理论依据。 相似文献
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脆性光学材料超精密加工技术 总被引:2,自引:0,他引:2
如何在光学晶体、光学玻璃等脆性材料上高效地制取纳米级光学表现是现代超精密加工技术领域的重点研究课题。近年来,此项技术取得了突破性进展,出现了浮法抛光、离子束加工、韧性加工等新一代脆性光学材料超精密加工技术。从加工机理、加工精度、表面质量、生产率等方面对其进行分析比较,并讨论了令人瞩目的韧性加工技术。 相似文献
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高精度光学表面数控化学抛光技术研究是针对强激光光学元件的应用需求,研究光学表面的化学抛光加工机理;基于Marangoni界面效应,采用数控化学抛光技术来实现光学表面面形及微结构形貌的高精度控制;为完成高精度激光光学元件(包括传统意义上的激光光学镜面和新型的静态连续波前校正板等)的制造进行新原理和新手段的探索。 相似文献
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应用离子束进行光学镜面确定性修形的实现 总被引:9,自引:3,他引:6
为了克服传统光学镜面抛光方法的缺点,提出了应用离子束进行光学镜面修形的方法.介绍了离子束修形技术的原理和方法,并对离子束修形中涉及的关键技术进行了讨论.在自研的离子束修形设备上对一块直径φ98 mm的微晶玻璃平面样件进行了离子束修形试验,经过两次的迭代修形使其面形精度均方根误差由初始的0.136λ提高到0.010λ(λ=632.8nm),平均每次迭代的面形收敛率达到3.7.实验结果表明,应用离子束进行光学镜面修形无边缘效应、面形收敛快、加工精度高;由于离子束修形技术去除材料过程自身的特点,使数控离子束修形技术对非球面的加工和对平面的加工难度相当. 相似文献
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在光学加工领域,采用功率谱密度(power spectral density,PSD)对误差频谱方面信息进行表征,但是功率谱密度是表面误差统计信息,不如峰谷值(peak-valley,PV)和均方根值(root mean square,RMS)直观。为了分析功率谱密度与工艺参数之间的关系,该文从PSD定义出发,分析了随机面形轮廓不同参数对光学PSD的影响规律,总结了PSD控制的要点,在平面玻璃上对数控抛光典型路径下加工的PSD曲线进行分析。分析结果表明:PSD与随机轮廓幅值、频率分布有关,相位对它几乎无影响;在RMS接近情况下,PSD线性拟合斜率和RMS Slope随随机轮廓的自相关长度增加而下降;短程加工路径相较于长程有序路径能够有效抑制PSD曲线峰值,使得光学元件符合频谱抑制要求。 相似文献
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研究了针对600mm口径方形轻质碳化硅元件的数控抛光工艺过程,采用国产OP1000数控研磨抛光机床对一块600mm×480mm的方形碳化硅元件进行数控抛光加工。在经过两周的加工时间,碳化硅光学元件的通光口径均方根(RMS)值收敛到了35nm(大约为λ/18,λ=632.8nm)。在加工过程中针对大口径椭圆形碳化硅反射镜采用了合适的加工参数优化,例如在加工过程中的不同阶段选择了不同颗粒度的金刚石微粉作为特定阶段的抛光辅料以保证光学元件的表面粗糙度。对计算机控制数控加工技术的快速收敛过程也进行了阐释。 相似文献
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数控机械加工技术的发展,促进了数控刀具材料及结构的发展。本文简介现代数控刀具的现状及发展趋势。 相似文献