用迈克尔逊干涉仪测薄膜厚度

在教材中,常可见到“把折射率为n的薄膜放在迈克尔逊干涉仪的一臂上,由此干涉条纹产生移动,测得共移动N条,若光源的波长为λ,求薄膜的厚度”的习题。实际上由于薄膜的引入,导致干涉条纹的移动是个突变过程,无法测出干涉条纹移动的条数N。但这并非说不能利用迈克尔逊干涉仪测量薄膜的厚度,利用迈克尔逊干涉仪不仅可以测量透明介质膜的厚度,而且还可测量金属膜的厚度,下面介绍利用迈克尔逊干涉仪测量非透明金属膜厚度的原理及方     

确定三层增透膜层厚的方法

目前,在镀制多层增透膜时所用的方法是:利用真空蒸发膜料并按石英晶体振荡频率ω连续控制分层厚度 h_J(J 是从基底算起的层数)。当ω的变化达到预定值Δω_1时,就停止 J 层的淀积。在镀制时,每制备一组增透膜最好都有层厚的控制方法。这样就可调节频率Δω,以便使实际的层厚近似于技术程序所规定的最佳层厚 h_J,并且保证增透     

基于白光干涉的光学薄膜物理厚度测量方法

设计了一套利用白光干涉理论测量薄膜厚度的系统,主要包括迈克耳孙白光于涉系统和光纤光谱仪.对干涉信号进行频域分析,结合拟合测试与理论能量曲线的方法并选择合适的目标函数,进一步精确反演得到待测薄膜样品的物理厚度,使用上述方法对多组不同厚度的薄膜样品进行计算,并对结果进行了详细的精度及误差分析.将本实验装置测试所得到的数据与传统的光度法相比较,结果表明使用该测试方法测量光学薄膜物理厚度的误差可以小于1 nm.与传统的光度法和椭偏法相比,提供了一种测量光学薄膜厚度的较为简单、快速的解决方案,同时保证了较高的精度.     

椭偏仪的测量研究和误差分析

本文通过模拟数据的计算,详细分析了椭圆偏振仪数据处理的复杂性,讨论了搜寻精度对准确求解的影响。     

基于X射线掠射法的纳米薄膜厚度计量与量值溯源研究

为了实现纳米薄膜厚度的高精度计量,研制了可供台阶仪、扫描探针显微镜等接触测量的纳米薄膜样片,研究了X射线掠射法测量该纳米薄膜样片厚度的基本原理和计算方法,导出了基于Kiessig厚度干涉条纹计算膜层厚度的线性拟合公式,并提出了一种可溯源至单晶硅原子晶格间距和角度计量标准的纳米膜厚量值溯源方法,同时给出了相应的不确定度评定方法.实验证明:该纳米薄膜厚度H测量相对扩展不确定度达到U=0.3 nm+1.5%H,包含因子k=2.从而建立了一套纳米薄膜厚度计量方法和溯源体系.     

椭偏仪测薄膜厚度实验存在的问题

薄膜科学与技术是当前高科技中的一个领域,在目前各高等院校开设的近代物理实验课程中均有用反射型椭偏仪测量薄膜厚度及折射率的内容。然而,本实验内容的安排却存在一个问题,只能确定膜厚在第一周期以内的值而不能由实验数据本身确定膜厚的周     

Step Structure in Cold-Rolled Deformed Nanocrystalline Nickel

The microstructure characteristic of the cold-rolled deformed nanocrystalline nickel metal is studied by transmission electron microscopy. The results show that there are step structures nearby the grain boundary （CB）, and the contrast of stress field in front of the step corresponds to the step in the shape. It is indicated that the interaction between twins and dislocations is not a necessary condition to realizing the deformation. In the later stage of the deformation when the grain size becomes about lOOnm, the deformation can depend upon the moving of the boundary of the stack faults （SFs） which result from the partial dislocations emitted from CBs. However, when the size of SFs grows up, the local internal stress which is in front of the step gradually becomes higher. When this stress reaches a critical value which stops the gliding of the partial dislocations, the SFs will stop to grow up and leave a step structure behind.     

复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析

为了复制高精度、大直径薄光栅盘，对曝光装置中影响感光条件的支撑板进行了受力分析。将支撑板的力学分析归结为边界简支的圆形薄板的小挠度问题，通过理论计算得到了支撑板的挠度和厚度的计算关系式，为设计支撑板提供了理论依据。根据理论推导，选择旋转式曝光装置，采用直径为1000mm、厚度为40mm的支撑板，研制出了较高精度的大直径薄光栅盘，其最大直径误差为0．47”，均匀性误差为8％，满足了使用要求。     

发光层厚度对有机薄膜电致发光特性影响的研究

本文采用的有机发光材料为8-羟基喹啉铝(8-Alq),结构为ITO/8-Alq/Al夹心式单层EL结构,制备三种不同厚度:300(Å),600(Å),1500(Å)的有机薄膜EL样品.对比和分析它们的I-V和B-I特性曲线,证实发光层厚度对有机薄膜EL样品的亮度产生显著影响,并在稳恒直流电压激发下,探讨了电子和空穴载流子在发光薄膜中的输运,据此分析了产生上述影响的主要原因.     

镀膜厚度自动测量的一种方法——容量法

文章介绍了应用容量法自动测量镀膜厚度的理论依据、测试装置和测量结果.     

用电谐振法测覆膜厚度

介绍了用电谐振法测量覆膜厚度的测量原理及测量方法．     

变厚度聚焦换能器对声焦域轴向长度影响的研究*

针对不同厚度的病变组织,改变声焦域轴向长度能提高高强度聚焦超声在临床治疗过程中的安全性和有效性。基于多频超声波叠加原理,该文提出了变厚度(多频)聚焦换能器,并设计了两种类型变厚度聚焦换能器。根据瑞利积分法推导了变厚度聚焦换能器声场,计算和分析了变厚度聚焦换能器的声焦域轴向长度,并与等厚度(单频)聚焦换能器声焦域轴向长度进行对比。结果显示,变厚度聚焦换能器中心到边缘的厚度变化趋势与声焦域轴向长度变化相关,中间薄两边厚换能器声焦域轴向长度缩短,中间厚两边薄换能器声焦域轴向长度变长,且实验验证了理论的正确性。研究结果可为变厚度聚焦换能器声场研究和高强度聚焦超声的临床治疗提供参考。     

激光散斑摄影术实验

将激光散斑摄影术设计成一个近代物理实验,用于测试位相物体的厚度。这一方法概念新颖、光路设计简便易行,且具有实用价值。在改造和创新近代物理实验方面,这是可取的,本文介绍相关的实验原理、光路设计及其实验内容。     

跨音速单转子压气机气动设计的优化

本文发展了一种提高跨音压气机效率的优化设计方法。该方法由快速叶片造型和网格生成、三维NS方程求解器和优化方法三部分组成。以绝热效率为设计目标,只选择两个参数-最大弯度和最大厚度相对位置沿叶高的分布为优化参数,成功设计了一个跨音单转子压气机。在此基础上,进一步考察了叶片端布周向弯曲对跨音单转子压气机性能的影响。     

Measurement of Specimen Thickness by Using Electron Holography and Electron Dynamic Calculation with a Transmission Electron Microscope

A method of transmission-electron microscopy for accurate measurement of specimen thickness has been proposed based on off-axis electron holography along with the dynamic electron diffraction simulation.The phase shift of the exit object wave with respect to the reference wave in vacuum,resulting from the scattering within the specimen,has been simulated versus the specimen thickness by the dynamic electron diffraction formula.Offaxis electron holography in a field emission gun transmission-electron microscope has been used to determine the phase shift of the exit wave.The specimen thickness can be obtained by match of the experimental and simulated phase shift.Based on the measured phase shift of the [110] oriented copper foil,the thickness can be determined at a good level of accuracy with an error less than-10%.