光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制

针对基于剪切干涉原理的光刻投影物镜波像差检测设备中相移测量的需求,设计了一种移相装置.该装置采用了桥式放大机构,获得了较大放大比和相对紧凑的结构.从原理上对桥式放大机构进行了分析和讨论,得到了输入位移与其放大比之间的函数关系,并得到了其关系曲线.经过非线性有限元分析,对该装置的变形、受力和模态特性进行了验证.验证结果满足检测平台移相要求.     

Analysis of phase shift of the EAST fast control power supply

EAST装置的快控电源是用来维持等离子体在垂直方向稳定性的,由H桥逆变电路组成.为了增加电平数,使快控电源安全平稳地进行,可以采取载波移相的方法.利用双重Fourier变换,讨论了PWM的特点,分析了载波移相的原理.研究了输出电压电平数与调制比的关系,对不同调制比下的输出电平数做了仿真分析.并且提出了一种同时增加电平数和消除谐波的新调制方法,通过MATLAB仿真验证了分析结果的正确性.     

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EAST装置的快控电源是用来维持等离子体在垂直方向稳定性的,由H桥逆变电路组成。为了增加电平数,使快控电源安全平稳地进行,可以采取载波移相的方法。利用双重Fourier变换,讨论了PWM的特点,分析了载波移相的原理。研究了输出电压电平数与调制比的关系,对不同调制比下的输出电平数做了仿真分析。并且提出了一种同时增加电平数和消除谐波的新调制方法,通过MATLAB仿真验证了分析结果的正确性。     

平行光路方向运动的光栅多普勒效应及其在测微小位移中的应用

研究了光栅平行光路运动时产生的光的多普勒效应,用实验进行了验证,并将该原理应用到对微小位移量的检测中. 对原理进行了拓展,得到光栅以任意角度运动产生光的频移的普适公式.     

光学元件损伤在线检测装置及实验研究

 利用暗场成像原理，研制成功一套应用于大型激光装置的光学元件损伤在线检测装置，并在多程放大系统上进行了实验研究。与传统的检测手段相比，该检测装置可以实现对光学系统的在线检测，并可对损伤点的图像进行分析处理，最后提出通过减小像差和扩大检测范围的方法来改进该装置的检测效果。     

平板玻璃中部应力的偏振移相检测法

基于平面偏振干涉测量原理,提出了一种用于平板玻璃中部应力检测的偏振移相干涉测量法。通过旋转检偏器实现了偏振移相,采用建立的数学模型得到了应力双折射数值及其分布曲线,由玻璃的应力光学系数得到了中部应力值。对浮法平板玻璃样品的中部应力进行了实验研究,结果表明,所提方法的测量误差可控制在3%以内,测量重复性优于1nm/cm,验证了所提方法的可行性。     

基于波长移相调谐的多表面干涉研究

为了解决不同厚度下平行平晶的多表面干涉效应对光学元件面形检测的影响,提出了基于波长移相调谐原理的多表面干涉面形检测方法。根据波长移相调谐原理,推算出不同厚度下被测元件与测试腔长的比例关系,通过对多表面干涉图进行离散傅里叶变换,进而提取出平行平晶前后表面面形的相位信息。实验结果表明:与ZYGO公司GPI干涉仪测量结果对比,厚度分别为10mm和40mm的两块平行平晶,测试结果偏差很小,验证了算法的有效性。     

基于数字锁相放大技术的强噪声背景下检测微弱信号教学实验

介绍了锁相放大技术在噪声背景下检测微弱交流信号的原理,研制出结合锁相放大器使用的微弱信号检测教学设备及其实验系统.利用OE1022型锁相放大器进行噪声中微弱交流信号测量实验,验证该系统功能.实验结果表明:使用该实验系统可以准确检测淹没在有效值比自身高104的白噪声中的微伏级交流信号.     

空域移相偏振点衍射波前检测技术

点衍射干涉仪结构简单、共光路、测量精度高, 空域移相干涉仪抗振性能优越, 两者在波前检测领域获得了广泛的应用. 本文采用激光打孔技术, 通过在金属纳米线栅偏振片上制备小孔, 制作了偏振点衍射板; 结合分光结构的空域移相技术, 搭建了空域移相偏振点衍射干涉仪, 并对一焦距为550 mm, F_#10的平行光管准直物镜透射波前进行测量, 与法国Phasics公司生产的商业化波前传感器SID4的测量结果相比较, 两者峰谷值相差0.09λ, 均方根值相差0.012λ ; 利用35项Zernike多项式拟合两者的测量结果, 将拟合得到的系数在同一坐标轴下绘制成两条曲线, 两者基本重合, 从而验证了所搭建的空域移相偏振点衍射波前检测装置的测试精度. 从而在传统点衍射干涉仪的基础上引入了空域移相技术, 实现了波前的高分辨率、高精度、实时检测, 并且提高了对振动、气流等环境因素的抗干扰能力.     

结合线性变换和非线性变换的放大算法研究

非线性放大能在保持图像上下文关联的情况下对目标进行放大.利用球面几何模型得到了一种非线性的映射关系,并通过分析得到了该映射关系在图像变换中可以得到非线性放大的效果.为了进行有效的观察,避免感兴趣区域的中心出现变形,采用结合线性和非线性变换的方法对图像进行放大.实际应用的结果表明,该算法不仅可以放大感兴趣区域,而且能有效的保持上下文的关联关系,是一种有效的图像放大算法.