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码盘偏心对叠栅条纹信号相位影响的理论分析 总被引:1,自引:0,他引:1
增量式光学编码器根据径向辐射光栅产生的叠栅条纹进行角度测量,两光栅码盘轴之间及其与系统转动轴之间的偏心和晃动,影响着编码器读头输出的叠栅条纹信号的相位,这给角度测量带来了一定的系统误差。根据光栅码盘产生叠栅条纹的基本理论,在改进计量光栅码盘理论模型的基础上,推导出码盘偏心情况下码盘读头输出的叠栅条纹信号相位的理论公式,对码盘偏心给叠栅条纹信号相位带来的偏差、增量式光学编码器光学设计原理及消除此由此带来的系统误差的技术原理进行了分析与讨论。 相似文献
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基于双光栅的纳米测量方法 总被引:5,自引:3,他引:2
针对两个物体或平面的相对位移和间隙的纳米级变化量,提出并研究了一种光栅测量方法.采用两组周期接近的微光栅重叠可以产生一组周期分布的条纹,条纹的周期相对于两光栅周期被大幅度放大,并将光栅间的位移反应在条纹的相位信息中.建立了关于双光栅产生叠栅条纹的复振幅分布的近似理论模型.基于该模型设计了一种能够测量两个平行平面相对位移和间隙的方法.针对光栅移动产生相应条纹的过程进行了数值计算.结果表明,两个平行平面的相对微位移将引起相应条纹的大位移,并且该方法最终能在纳米级以内分辨两平面(物体)的相对位移或者间隙变化量. 相似文献
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脉冲压缩光栅光学拼接方法研究 总被引:3,自引:1,他引:3
脉冲压缩光栅是激光约束核聚变系统中的重要光学元件.随着激光约束核聚变工程的快速发展,对光栅的口径要求越来越大.全息技术是制造大口径脉冲压缩光栅的重要手段,其制作的光栅大小受限于记录光学系统口径.为了制造出超大口径的脉冲压缩光栅,提出了一种采用多次曝光拼接技术制作大口径脉冲压缩光栅的方法.该方法采用参考光栅作为检测元件,利用其再现的光学特性,以检测记录干涉光场与已记录光栅之间位相匹配情况,并利用条纹锁定系统控制记录干涉光场的相位,实现光学拼接制作大口径脉冲压缩光栅的目的.开展了1740lp/mm光栅拼接实验研究.拼接对准精度优于30 nm. 相似文献
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用光栅式位移传感器测量衍射光强分布 总被引:3,自引:1,他引:3
利用光栅式位移传感器测量了不同缝宽的单缝衍射的相对光强.本文介绍了光栅式位移传感器的测量原理、光栅测量系统、实验装置和调试要求.实验结果表明,利用光栅式测量系统产生的叠栅条纹测量位移的精度较高. 相似文献
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双频全息光栅的空间衍射特性及其应用 总被引:1,自引:0,他引:1
本文详细讨论了双频全息光栅的空间衍射特性,指出利用双频全息光栅的空间衍射特性可以方便地获得等强度双光束干涉场,该干涉场既可有效地用于制作高质量全息光栅,亦可以作为产生叠栅条纹的空间虚光栅,用于微小位移、转角、变形及三维面形的高灵敏度和非接触测量。文中还给出了相应的实验结果。 相似文献
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脉冲压缩光栅光路调节新方法研究 总被引:2,自引:1,他引:1
介绍了一种简单而实用的大口径脉冲压缩光栅光路调节方法,有效解决了普通光路调节方法中轴向调节精度不高的问题。首先由全息透镜(光栅)成像公式出发,推导出了该光路调节的基本原理。并从光栅记录系统与光栅衍射波像差的关系,结合初级像差理论推导得出叠栅条纹像差为0.4786λ,大约是光栅衍射波像差(0.25λ)的两倍,利用此关系也可对光栅衍射波像差进行实时监测。从数值模拟结果可知,利用叠栅条纹法调节光路可将光栅波像差减至0.06λ,相应的轴向误差量为0.007 mm,可有效提高了轴向调节精度。 相似文献
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分析人字形光栅副莫尔条纹的特点,研究了一种用莫尔偏折术检校光束准直性的改进方法,利用双场莫尔条纹方向平行性进行判定,此法使用方便且精度可提高一倍以上。 相似文献
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云纹干涉法面内位移测量的光栅补偿方法研究 总被引:2,自引:0,他引:2
分析导致云纹干涉法面内位移和应变测量的根本原因,给出对称入射光路云纹干涉法面内位移计量的基本公式,设计定量补偿面内位移和变形的非对称光栅补偿光路系统。最后证明基准光栅补偿方法的可行性和可靠性。 相似文献
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