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自动对焦技术是薄膜晶体管液晶面板(TFT-LCD)检测中非常重要的一环。针对TFT-LCD液晶面板的检测中需要快速准确地对焦到液晶面板被测面的问题,提出一种可自动对焦的显微镜系统。将数字光栅投影到物面上,先通过分光棱镜将光分成两路,一路被面阵CCD接收,另一路通过分光棱镜和反射镜将光栅的像分成两路,分别成像在线阵CCD的靶面上。通过线阵CCD上两个光栅图清晰度的对比实现离焦方向和离焦量的判断,使用微位移平台移动物镜,实现显微镜的自动对焦。本研究对自动对焦数字光栅的影响因素进行分析,并采用变周期数字光栅进行对焦。 相似文献
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高精度扫描控制系统是现代扫描显微系统的重要组成部分,它影响着扫描显微镜对样品的扫描成像质量。提出了一种基于光栅检测的单片机闭环扫描控制系统的设计方案。该系统采用PC上位机发送指令,下位单片机控制扫描工作台的移动,光栅作为检测元件输出脉冲信号。单片机控制电路实现脉冲的计数并计算误差值,控制步进电机进行误差补偿。步进电机的硬件细分驱动,实现了步距2细分、4细分、8细分。实验结果表明该系统的重复定位精度达到0.005mm,满足扫描显微镜对扫描控制系统的要求。 相似文献
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高精度工作台控制系统是现代自动显微系统的重要组成部分,其精度直接影响显微镜对样品的检测质量。介绍了一种基于AT89C52单片机的显微镜工作台闭环控制系统的设计方案。工作台移动时作为检测元件的光栅输出脉冲信号。单片机控制电路实现脉冲的计数并计算误差值,控制步进电机进行反馈补偿。步进电机通过细分驱动模块可以以四种不同的步距驱动工作台移动,以实现显微镜对工作台移动速度的不同需要。8位数码管实时显示工作台移动的实际位置。实验结果表明,该系统的重复定位精度可达到0.020mm,可满足显微镜对控制工作台的要求。 相似文献
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针对工业上一些无法正对待测端面安装相机的直径测量场景,设计了一种由3个激光投线器、1个成像透镜及1个面阵CMOS相机组成的圆柱工件直径测量系统,放置于地面上倾斜投影并成像。搭建了测量系统,从图像中获得亚像素端点坐标,代入标定方程解算世界坐标,并通过几何模型计算待测直径。实验结果表明,该系统能在设计待测值附近准确测量工件的端面直径,测量精度在±0.1 mm以内,满足工业测量高精度要求。 相似文献
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主要介绍了根据动态法测量原理设计的新型杨氏模量自动测量仪,此仪器创新性地采用全自动扫频技术,实现了金属材料杨氏模量的全自动测量,并且增加了虚假共振的判断和品质因素的测量,提高了测量结果的可靠性. 相似文献
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从现代显微镜这一典型光学仪器出发,分析和阐述了现代仪器的设计新理念。提出了整体式设计、自由曲面式造型设计、人性化设计、绿色设计以及模块化设计等设计新理念。根据显微镜的发展趋势,对现代仪器的发展方向和趋势作了一个预测。 相似文献
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针对原有声速测量仪中存在的不足,利用单片机、步进电机等器件构建控制电路,通过识别信号强度强弱变化来代替原有实验仪中手动操作,提高了实验精度. 相似文献