| 液相基底温度对A1薄膜中带状有序结构的影响 |
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| 引用本文： | 吴一琦,方轶君,叶高翔.液相基底温度对A1薄膜中带状有序结构的影响[J].浙江大学学报(理学版),2007,34(4):409-413. |
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| 作者姓名： | 吴一琦 方轶君 叶高翔 |
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| 作者单位： | [1]温州大学物理与电子信息学院,浙江温州325000 [2]浙江大学物理系,浙江杭州310027 |
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| 摘 要： | 研究了液相基底温度对铝（A1）薄膜中具有准周期特征的带状有序结构的影响．实验发现，随着温度的升高，组成带状有序结构的矩形畴块平均长度先增大，随后减小．当沉积条件发生改变时，铝薄膜可呈现近似透明或金属色泽，并且在此两类薄膜中均可观察到带状有序结构．研究表明，硅油基底的物理特性随温度的变化对薄膜中内应力分布及微观结构有着重要的影响．
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| 关 键 词： | 基底温度 硅油 A1薄膜 内应力 |
| 文章编号： | 1008-9497（2007）04-409-05 |
| 修稿时间： | 2006-03-06 |
Influence of the liquid substrate temperature on the band-shaped ordered structures in an AI film system |
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| WU Yi-qi , FANG Yi-jun , YE Gao-xiang.Influence of the liquid substrate temperature on the band-shaped ordered structures in an AI film system[J].Journal of Zhejiang University(Sciences Edition),2007,34(4):409-413. |
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| Authors: | WU Yi-qi FANG Yi-jun YE Gao-xiang |
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| Institution: | 1. Department of Physics, Wenzhou University, Wenzhou 325000, China; 2. Department of Physics, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | substrate temperature silicone oil aluminium thin film internal stress |
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