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等离子体光谱光源技术的进展
引用本文:辛仁轩.等离子体光谱光源技术的进展[J].中国无机分析化学,2019,9(1):17-26.
作者姓名:辛仁轩
作者单位:清华大学核能与新能源技术研究院
摘    要:光谱光源是光谱仪器和光谱技术的核心,等离子体光源是原子发射光谱技术的活跃领域之一,电感耦合等离子体(ICP)已成功地应用于原子发射光谱和无机质谱仪器。由于ICP光源采用氩气作为工作气体,耗量较大,降低氩气用量成为近些年来原子光谱技术研究和改进的重要目标。为此目的,已研究过各种低耗氩ICP光源,非氩气ICP光源,微波等离子体光源,射频电容耦合等离子体光源等。综述了近年这些等离子体发射光源的结构,分析性能及特点,以及它们所用工作气体情况。并归纳总结出,评价各种等离子体发射光谱光源应包括:等离子体温度(激发温度,气体温度),电子密度,工作气体种类及用量,元素检出限,光源的稳健性及经济方面等。

关 键 词:等离子体光源  ICP-AES  高功率微波等离子体光源(MWP)  射频电容耦合等离子体(CCP)
收稿时间:2020/1/13 0:00:00
修稿时间:2020/1/13 0:00:00

Advances in Plasma Spectral Light Source Technology for Atomic Emission Spectroscopy
XIN Renxuan.Advances in Plasma Spectral Light Source Technology for Atomic Emission Spectroscopy[J].Chinese Journal of Inorganic Analytical Chemistry,2019,9(1):17-26.
Authors:XIN Renxuan
Institution:Institute of nuclear energy and new energy technology,TsinghuaUniversity
Abstract:
Keywords:plasma light source  ICP-AES  high power microwave plasma light source (MWP)  Rf capacitor coupled plasma (rf-CCP)
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