| Ti含量对溶胶-凝胶法制备Ti、Ga共掺ZnO薄膜性能的影响 |
| |
| 引用本文： | 王瑞,孙宜华,黄龙,敖来远,方亮,骆秋子.Ti含量对溶胶-凝胶法制备Ti、Ga共掺ZnO薄膜性能的影响[J].人工晶体学报,2020,49(10):1800-1806. |
| |
| 作者姓名： | 王瑞 孙宜华 黄龙 敖来远 方亮 骆秋子 |
| |
| 作者单位： | 三峡大学材料与化工学院,无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室,宜昌 443002;三峡大学材料与化工学院,无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室,宜昌 443002;三峡大学材料与化工学院,无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室,宜昌 443002;三峡大学材料与化工学院,无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室,宜昌 443002;三峡大学材料与化工学院,无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室,宜昌 443002;三峡大学材料与化工学院,无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室,宜昌 443002 |
| |
| 基金项目： | (国家自然科学基金);(中国教育部) |
| |
| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃衬底上沉积纳米结构Ti、Ga共掺ZnO薄膜(TGZO,Ga掺杂量为1.0;(原子分数,下同)),用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、分光光度计(UV-Vis)、四探针测试仪、霍尔效应测试仪研究了Ti含量对TGZO薄膜的物相组成、表面形貌、电学和光学性能的影响.结果表明:所有TGZO薄膜均表现出六方纤锌矿的多晶结构,并具有(002)择优取向生长,在380～780 nm波长范围内具有良好的透射率(>86;);随着Ti含量的增加,TGZO薄膜的晶粒尺寸和可见光平均透射率均先增加后减小,而光学带隙和电阻率先减小后增加;Ti掺杂量为1.0;时,具有最高的可见光透射率92.82;,最窄的光学带隙3.249 eV,以及最低电阻率2.544×10-3Ω·cm.
|
| 关 键 词： | TGZO薄膜 溶胶凝胶法 光电性能 c轴择优取向 高透过率 |
Effect of Ti Content on the Properties of Ti and Ga Co-Doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-Gel Method |
| |
| WANG Rui,SUN Yihua,HUANG Long,AO Laiyuan,FANG Liang,LUO Qiuzi.Effect of Ti Content on the Properties of Ti and Ga Co-Doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-Gel Method[J].Journal of Synthetic Crystals,2020,49(10):1800-1806. |
| |
| Authors: | WANG Rui SUN Yihua HUANG Long AO Laiyuan FANG Liang LUO Qiuzi |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《人工晶体学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《人工晶体学报》下载免费的PDF全文 |
|
