| 真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能 |
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| 引用本文： | 张泰华,郇勇,王秀兰.真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能[J].实验力学,2003,18(1):1-5. |
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| 作者姓名： | 张泰华 郇勇 王秀兰 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院力学研究所,非线性力学国家重点实验室,北京,100080
2. 航天材料及工艺研究所,北京,100076 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No.10242001,10172086)，中科院知识创新工程重要方向项目KJCX2-SW-L2 |
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| 摘 要： | 采用真空磁过滤电弧离子镀法分别在9Cr18和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.2μm的类金刚石（DLC）膜。为了检测成膜质量，分别使用纳米压痕和纳米划痕技术表征钢基材和DLC/基材的机械性能，对这种亚微米厚的膜，纳米压痕技术和纳米划痕技术能提供丰富的近表面的弹塑性变形，断裂和摩擦等的信息。同DLC/40CrNiMo相比。DLC/9Cr18的硬度高和固体润滑效果显著，9Cr18是较为理想的基体材料。
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| 关 键 词： | 真空磁过滤电弧离子镀 DLC膜 纳米压痕 纳米划痕 固体润滑 |
| 文章编号： | 1001-4888(2003)01-0001-05 |
| 修稿时间： | 2002年7月15日 |
Mechanical Properties of DLC Films Deposited by Vacuum Magnetic-filtering Arc Plasma |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | vacuum magnetic-filtering arc plasma deposition DLC coatings nanoindentation nanoscratch solid lubricating |
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