| 一种谐振式硅微机械陀螺的设计和加工 |
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| 引用本文： | 王莹莹,樊尚春,郭占社,蔡晨光.一种谐振式硅微机械陀螺的设计和加工[J].中国惯性技术学报,2007,15(4):497-500. |
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| 作者姓名： | 王莹莹 樊尚春 郭占社 蔡晨光 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学,仪器科学及光电工程学院,精密光机电一体化技术教育部重点实验室,北京100083 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 基于谐振式检测方式的高灵敏度、大动态范围、易于与数字电路接口等优点,提出了一种谐振式微机械陀螺的新型结构,研究了其工作原理,得到了双端音叉谐振器(DETF)振动Mathieu方程的稳态输出,并基于此稳态输出的贝塞尔曲线簇分解信号的幅相频率特性曲线进行了特性分析和Matlab仿真研究,从而提出了一种利用DETF输出信号xr中ωr0或ωr0 ωp频率分量来解算科氏力的方法,实现对输入角速度?的检测,并采用SOG工艺加工此新型结构得到样件。研究表明,此新型谐振式硅微机械陀螺结构具有准数字输出,并能有效提高其输出信号的信噪比。
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| 关 键 词： | 谐振 陀螺 频率特性 |
| 文章编号： | 1005-6734(2007)04-0497-04 |
| 修稿时间： | 2007年5月14日 |
Design and manufacture of silicon MEMS resonant gyroscope |
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| WANG Ying-ying,FAN Shang-chun,GUO Zhan-she,CAI Chen-guang.Design and manufacture of silicon MEMS resonant gyroscope[J].Journal of Chinese Inertial Technology,2007,15(4):497-500. |
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| Authors: | WANG Ying-ying FAN Shang-chun GUO Zhan-she CAI Chen-guang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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