| 电容式微机械陀螺敏感信号采样检测 |
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| 引用本文： | 陈建元.电容式微机械陀螺敏感信号采样检测[J].中国惯性技术学报,2008,16(2):233-235. |
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| 作者姓名： | 陈建元 |
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| 作者单位： | 东南大学,仪器科学与工程学院,南京,210096 |
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| 摘 要： | 驱动轴与敏感轴的刚度耦合是硅微陀螺的机械耦合干扰是主要因素.敏感方向的电容对所有间隙变化进行检测,机械耦合造成了虚假的敏感信号输出,这种输出也会带来后续放大器的饱和问题.以往诸多相关检测方法,将敏感信号与耦合干扰一起送入乘法器.使有用的敏感信号的最后提取产生困难.文中分析指出存在干扰影响最小的可供对敏感信号采样时刻.这个采样时刻靠近敏感信号的峰值点.用取样积分的方法可以进一步提高信噪比.驱动电压也对敏感信号存在严重的干扰,因此使用了在采样时关断驱动信号的方法去除这种电气干扰.两方法结合减少了机械耦合干扰和电气耦合干扰,减少了系统误差.
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| 关 键 词： | 微机械陀螺 机械耦合 调理电路 取样积分器 电容式 微机械陀螺 敏感 驱动信号 采样检测 signal sensing micromachined gyroscope capacitive detection 系统误差 电气干扰 结合 两方法 使用 严重 驱动电压 高信噪比 取样积分 峰值点 |
| 文章编号： | 1005-6734(2008)02-0233-03 |
| 修稿时间： | 2007年12月19 |
Sample detection of capacitive micromachined gyroscope sensing signal |
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| CHEN Jian-yuan.Sample detection of capacitive micromachined gyroscope sensing signal[J].Journal of Chinese Inertial Technology,2008,16(2):233-235. |
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| Authors: | CHEN Jian-yuan |
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