| 几种新型超硬薄膜的研究进展 |
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| 引用本文： | 张生俊,陈光华,邓金祥,宋雪梅,邵乐喜.几种新型超硬薄膜的研究进展[J].物理,2001,30(10):622-627. |
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| 作者姓名： | 张生俊 陈光华 邓金祥 宋雪梅 邵乐喜 |
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| 作者单位： | 北京工业大学材料学院教育部新型功能材料重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:69876003,19874007),北京市自然科学基金(批准号:2982013)资助项目 |
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| 摘 要： | 超硬材料主要由Ⅲ，Ⅳ，Ⅴ族共价键化合物（碳化物，氮化物）和单质（金刚石）组成，硬度高于40GPa，有单晶，多晶，非晶等多种，除金刚石外，这些材料都是人工合成的，没有天然对应物，除超硬性质以外，这些材料大都具有宽带隙，高温稳定性，化学惰性等优良的物理化学性质，新型超硬薄膜材料研究从金刚石开始，目前主要的研究对象有金刚石，类金刚石碳（DLC），立方氮化硼（cBN)，氮化碳（C3N4，CNx)，硼碳氮（BCN）等，是近二十年来材料研究的热门方向之一，文章结合作者近年来的工作，介绍这几种超硬薄膜的研究进展和展望。
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| 关 键 词： | 超硬材料 金刚石 立方氮化硼 氮化碳 类金刚石碳 超硬薄膜 |
| 修稿时间： | 2000年11月27 |
NOVEL SUPERHARD FILMS |
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| ZHANG Sheng,Jun CHEN Guang,Hua DENG Jin,Xiang SONG XueMei.NOVEL SUPERHARD FILMS[J].Physics,2001,30(10):622-627. |
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| Authors: | ZHANG Sheng Jun CHEN Guang Hua DENG Jin Xiang SONG XueMei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | superhard materials diamond cubic boron nitride(cBN ) carbon nitride(CN x) diamond like carbon(DLC) |
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