用于光电仪器和相关测量的自混合干涉技术（特邀）

回顾了一种全新结构的干涉仪—自混合干涉仪（SMI）的发展情况。SMI由于其在激光器外部无需任何光学元件且应用范围广泛而倍受关注。SMI可用于测量与光路长度有关的一些量（如位移、小幅度振动、速度）,也可用于测量弱光的回波（即回波损耗和隔离因子的测量）并可表征与介质相互作用特性相关的物理参数（如激光线宽、相干长度以及α因子等）。SMI是一种相干探测方法,其工作在靠近接收场的量子极限处,目前对散射目标物的最小探测幅值可达槡20 pm/（Hz）～（1/2）甚至更高,使用角锥棱镜使其计数步长为半波长,在动态范围为2 m时其分辨率约为0.5μm。另外,SMI结构紧凑、易于现场安装且可用于MEMS测试、旋转机械振动测试和生物运行测试等各种实验。