| 超分辨在共焦三维形貌检测术中的应用 |
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| 引用本文： | 邓小强,刘力,杨莉松,王桂英,徐至展.超分辨在共焦三维形貌检测术中的应用[J].光学学报,2001,21(7):53-856. |
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| 作者姓名： | 邓小强 刘力 杨莉松 王桂英 徐至展 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所, |
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| 基金项目： | 国家自然科学重点基金 (6 96 370 30 )，面上基金(6 97770 0 4)资助课题 |
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| 摘 要： | 通过对共焦三维形貌检测术的分析，根据超分辨理论，在共焦系统中加入环形光瞳滤波器，以期延长系统的动态检测范围，并提高系统的横向分辨率。理论和实验结果表明该方法在适当牺牲轴向分辨率的条件下，能有效地延长系统的动态检测范围，且提高其横向分辨率。
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| 关 键 词： | 共焦三维形貌检测术 超分辨 环形光瞳滤波器 |
Super-Resolution in 3-D Confocal Surface Profilometry |
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| Deng Xiaoqiang\ Liu Li,Yang Lisong\ Wang Guiyin\ Xu Zhizan.Super-Resolution in 3-D Confocal Surface Profilometry[J].Acta Optica Sinica,2001,21(7):53-856. |
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| Authors: | Deng Xiaoqiang\ Liu Li Yang Lisong\ Wang Guiyin\ Xu Zhizan |
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| Abstract: | Based on super\|resolution theory, the 3\|D confocal surface profilometry and annular pupil filter are combined for analyzing the property of the 3\|D profilometry. The results of computer simulation and experiment prove that this method can explore the axial dynamic range and improve transversal resolution of 3\|D profilometry at decreasing axial resolution. |
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| Keywords: | 3-D confocal profilometry super\|resolution annular pupil filter |
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