| 从物理学发展看MEMS的跨学科研究 |
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| 引用本文： | 王培霞,贾育秦.从物理学发展看MEMS的跨学科研究[J].物理与工程,2005,15(5):39-41,50. |
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| 作者姓名： | 王培霞 贾育秦 |
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| 作者单位： | 太原科技大学,山西太原030024 |
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| 摘 要： | 本文简述了微机电系统（MEMS）在各领域的广泛应用，以物理学观点出发分析研究了MEMS器件设计中互相关联的多物理场耦合问题．指出新技术学科存在于物理学发展本身，物理学是MEMS和许多交叉科学发展的坚实基础．
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| 关 键 词： | 物理学 耦合场 微机电系统 交叉学科 微机电系统（MEMS） 物理学发展 跨学科研究 技术学科 耦合问题 器件设计 |
| 收稿时间： | 2005-04-30 |
| 修稿时间： | 2005-04-30 |
REALIZED CROSSED SUBJECTS STUDYING OF MEMS WITH THE VIEWPOINT OF THE PHYSICS |
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| Wang Peixia ,Jia Yuqin.REALIZED CROSSED SUBJECTS STUDYING OF MEMS WITH THE VIEWPOINT OF THE PHYSICS[J].Physics and Engineering,2005,15(5):39-41,50. |
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| Authors: | Wang Peixia Jia Yuqin |
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| Institution: | Taiyuan University of Science and Technology, Taiyuan 030024 |
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| Abstract: | This paper expounded widespread use of MEMS device in many fields. With the viewpoint of the physics it analyzes and describes many questions relating to the physics effect coupling fields in MEMS designing. It points that the physics is the hard foundation to MEMS and many crossed subjects studying. |
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| Keywords: | physics coupling fields MEMS crossed subject |
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