| In液滴低温时在不同沉积量下的形貌演变分析 |
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| 引用本文： | 唐锦程,丁召,黄泽琛,李家伟,宋娟,赵梦琴,张丹懿,王一,郭祥.In液滴低温时在不同沉积量下的形貌演变分析[J].原子与分子物理学报,2023,40(3):032001-84. |
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| 作者姓名： | 唐锦程 丁召 黄泽琛 李家伟 宋娟 赵梦琴 张丹懿 王一 郭祥 |
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| 作者单位： | 1. 贵州大学大数据与信息工程学院;2. 半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心;3. 贵州省微纳电子与软件技术重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61564002,11664005)；;贵州省科学技术基金(黔科合基础[2020]1Y271)； |
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| 摘 要： | 本文研究了低温时不同沉积量的In液滴在GaAs(001)衬底上的形貌特征.在衬底温度为160℃时，对In液滴形貌进行观察和分析并根据经典的成核理论解释了不同沉积量下In液滴纳米结构的形成机制和In液滴形貌随沉积量的演变规律；通过对液滴数量，直径和高度以及液滴周围出现扩散圆盘的直径和高度进行统计，结合液滴形貌与沉积量的相关理论公式以及本文实验中所得数据，拟合计算出In液滴产生扩散圆盘的最小沉积量约为3.3 ML,表明In液滴的沉积量大于3.3 ML时才会形成圆盘.相关研究结果对液滴外延法制备InAs纳米结构具有指导意义.
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| 关 键 词： | In液滴 沉积量 分子束外延 形貌 |
| 收稿时间： | 2021/11/12 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2021/11/27 0:00:00 |
Analysis of morphology evolution of Indium droplets under different deposition amounts at low temperature |
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| Tang Jin-Cheng,Ding Zhao,Huang Ze-Chen,Li Jia-Wei,Song Juan,Zhao Meng-Qin,Zhang Dan-Yi,Wang Yi and Guo Xiang.Analysis of morphology evolution of Indium droplets under different deposition amounts at low temperature[J].Journal of Atomic and Molecular Physics,2023,40(3):032001-84. |
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| Authors: | Tang Jin-Cheng Ding Zhao Huang Ze-Chen Li Jia-Wei Song Juan Zhao Meng-Qin Zhang Dan-Yi Wang Yi and Guo Xiang |
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| Institution: | Guizhou University,Guizhou University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | In droplet Deposition amount Molecular Beam Epitaxy Morphology |
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