电子和离子束条件对金刚石和DLC膜的碳AES线形状的影响期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

按检索

电子和离子束条件对金刚石和DLC膜的碳AES线形状的影响

引用本文：	唐年益.电子和离子束条件对金刚石和DLC膜的碳AES线形状的影响[J].等离子体应用技术快报,1996(9):13-15.

作者姓名：	唐年益

摘要：
关键词：	金刚石类金刚石碳薄膜生长 AES
本文献已被维普等数据库收录！