| 超分辨近场结构技术及其应用 |
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| 引用本文： | 张锋,王阳,徐文东,顾冬红,干福熹.超分辨近场结构技术及其应用[J].光学技术,2003,29(5):518-522. |
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| 作者姓名： | 张锋 王阳 徐文东 顾冬红 干福熹 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 基金项目： | 国家863计划(2002AA313030)，国家自然科学基金(60207005)资助项目。 |
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| 摘 要： | 超分辨近场结构(Super RENS)技术是在传统的超分辨光盘技术和近场光学的基础上发展起来的新技术。介绍了Super RENS技术的基本原理:利用掩膜层的非线性效应或表面等离子体增强效应,在近场区域可以记录、读出超过衍射极限的信号。综述了该技术在纳米光信息存储和光刻方面应用研究的最新进展,提出了存在的问题,展望了它的发展前景。
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| 关 键 词： | 超分辨近场结构 超分辨 近场光学 光存储 光刻 |
| 文章编号： | 1002-1582(2003)05-0518-05 |
| 修稿时间： | 2003年1月19日 |
Super-resolution near field structure technology and its applications |
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| Abstract: | Super-resolution near field structure (Super-RENS) technology is a new ly developed technology based on traditional super-resolution technology and ne a r field optics. The principle of Super-RENS that based on the nonlinear or surf a ce plasma enhancement effect of mask layer is described. Signals beyond diffract ion limit can be record and readout by this technology. Applications of Super-R E NS in nanometer-scale optical storage and lithography in recent years are revie w ed. Problems existed are pointed out and its prospective applications in the fut ure are discussed. |
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| Keywords: | super-resolution near field structure super resolution near field optics optical storage lithography |
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