| 纳米级两维微位移工作台的参数测试 |
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| 引用本文： | 崔岩梅,周自力,曹航.纳米级两维微位移工作台的参数测试[J].光学技术,2002,28(5):447-448. |
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| 作者姓名： | 崔岩梅 周自力 曹航 |
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| 作者单位： | 中国航空长城计量测试技术研究所,北京,100095 |
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| 摘 要： | 为了分析纳米级两维微位移工作台引入的测量误差 ,介绍了其机械结构及工作原理 ,进行了定位准确度实验和运动方向的直线度 (偏摆 )实验 ,实验结果表明 ,工作台的定位准确度较高 ,运动方向的直线度在工作台工作范围内无需修正 ,即可满足高精度测量的需要
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| 关 键 词： | 两维微位移工作台 定位准确度 直线度 重复性 |
| 文章编号： | 1002-1582(2002)05-0447-02 |
| 修稿时间： | 2001年9月24日 |
Mechanical parameters' measurement and evaluation of XY piezoflexure nanopositioner |
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| CUI Yan-mei,ZHOU Zi-li,CAO Hang.Mechanical parameters'''' measurement and evaluation of XY piezoflexure nanopositioner[J].Optical Technique,2002,28(5):447-448. |
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| Authors: | CUI Yan-mei ZHOU Zi-li CAO Hang |
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| Abstract: | In order to analyze the measurement error of XY piezo flexure nanopositioner, its mechanical structure and working principle are introduced. The experiments are carried out. Experimental results show that the orientation accuracy and linearity is so as to meet the need of high accuracy measurement. |
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| Keywords: | XY piezo flexure nanopositioner orientation accuracy linearity repeatability |
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