| X射线透射法测量膜厚 |
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| 引用本文： | 王轲,陶小平,孙晴,张增明,孙腊珍.X射线透射法测量膜厚[J].物理实验,2008,28(4):44-46. |
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| 作者姓名： | 王轲 陶小平 孙晴 张增明 孙腊珍 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学,理学院,安徽,合肥,230026 |
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| 基金项目： | 国家基础科学人才培养基金 |
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| 摘 要： | 薄膜厚度不仅与薄膜的电导率有关,而且与薄膜的光学性能甚至表面结构密切相关. 薄膜厚度的测量精确有助于研究薄膜的物理性能. 本文利用X射线在材料中传播的特征设计了大学物理实验室测量薄膜厚度的方法.
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| 关 键 词： | 膜厚 X射线 透射 射线 透射法 测量 薄膜厚度 method transmission film thickness 方法 物理实验室 大学 特征设计 传播 材料 利用 物理性能 研究 相关 表面结构 光学性能 电导率 |
| 文章编号： | 1005-4642(2008)04-0044-03 |
| 修稿时间： | 2007年8月2日 |
Measuring film thickness using X-ray transmission method |
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| WANG Ke,TAO Xiao-ping,SUN Qing,ZHANG Zeng-ming,SUN La-zhen.Measuring film thickness using X-ray transmission method[J].Physics Experimentation,2008,28(4):44-46. |
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| Authors: | WANG Ke TAO Xiao-ping SUN Qing ZHANG Zeng-ming SUN La-zhen |
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