| 一种准确聚焦掠入射球面光栅单色仪的光学设计 |
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| 引用本文： | 巩岩,陈波.一种准确聚焦掠入射球面光栅单色仪的光学设计[J].光学学报,2001,21(5):74-577. |
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| 作者姓名： | 巩岩 陈波 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与 |
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| 摘 要： | 提出了一种用于低碎屑激光等离子体软X射线光谱测试的球面光栅单色仪的光学设计方案。其设计思想是通过改变衍射光栅的偏向角使入射狭缝在所要求的波段范围内都能准确聚焦在出缝处，分析了系统的在数对单色仪技术指标的影响，优化了设计方案，使系统在13nm处的分辨率λ/Δλ≥2000（狭缝开启50um)。
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| 关 键 词： | 掠入射 球面光栅 单色仪 光学设计 软X射线 激光 等离子体 |
Optical Design for a Kind of Exactly Focusing Spherical Grating Monochromator |
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| Gong Yan,Chen Bo.Optical Design for a Kind of Exactly Focusing Spherical Grating Monochromator[J].Acta Optica Sinica,2001,21(5):74-577. |
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| Authors: | Gong Yan Chen Bo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | grazing incidence spherical grating monochromator optical disign |
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