Ar离子注入YBa2Cu3O7—x超导薄膜中微结构变化的透射电子显微镜研究 |
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引用本文: | 李贻杰,任琮欣.Ar离子注入YBa2Cu3O7—x超导薄膜中微结构变化的透射电子显微镜研究[J].物理学报,1993,42(3):482-487,T002. |
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作者姓名: | 李贻杰 任琮欣 |
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作者单位: | 北京大学物理系,北京大学物理系,北京大学物理系,中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室,中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室 北京 100871,北京 100871,北京 100871,上海 200050,上海 200050 |
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摘 要: | Ar离子注入YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜后,不仅会引起样品超导转变温度T_c和临界电流密度J_c的下降,还会使样品的正常态由金属型变为半导体型。透射电子显微镜观察发现在小剂量(<5×10~(12)Ar/cm~2)注入情况下,样品的晶格结构几乎不受影响。随着注入剂量的增加,晶格损伤越来越严重,最终变成非晶态。对实验结果的分析表明,Ar离子注入引起YBa_2Cu_3O_(7-x)薄膜超导性能的变化主要与O原子子晶格的无序化过程有关。
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关 键 词: | 超导膜 离子注入 显微结构 氩 YBCO |
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