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| 宁波材料所在CVD大块单晶金刚石合成技术方面取得进展 | |
| 作者单位： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所; |
| 摘 要： | <正>中国科学院宁波材料技术与工程研究所"功能碳素材料团队"以实现金刚石精密工具的国产化和产业化为目标,最近在CVD(Chemical-Vapor-Deposition:化学气相沉积)单晶金刚石合成方面取得了突破性进展。团队从国产微波等离子体CVD设备设计改造着手,开发了高密度、高稳定性的金刚石沉积装置。与国外设 |
| 关 键 词： | 单晶金刚石 CVD 碳素材料 化学气相沉积 设备设计 微波等离子体 生长工艺 边缘生长 彩色钻石 籽晶 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |