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| 辉光放电质谱法测定超高纯铝中痕量杂质元素EI北大核心CSCD | |
| 引用本文： | 陈胜洁,姚力军,王学泽,钟伟华,杨辉.辉光放电质谱法测定超高纯铝中痕量杂质元素EI北大核心CSCD[J].分析试验室,2018(9):1085-1089. |
| 作者姓名： | 陈胜洁 姚力军 王学泽 钟伟华 杨辉 |
| 作者单位： | 1.浙江大学310000;2.宁波江丰电子材料股份有限公司315400; |
| 摘 要： | 采用辉光放电质谱法(GDMS)分析超高纯铝样品(含铝量≥99.9995%)中B,Mg,Si,P,Cl,Ti等44种主要杂质元素,并且与电感耦合等离子体质谱法(ICPM S)进行对比,主要杂质元素含量检测结果一致。本工作对质谱干扰的排除和预溅射过程时间的确定进行了讨论,采用高纯铝标样对高纯铝中26种主要元素相对灵敏度因子(RSF)进行校正和验证,并考察了检测结果的准确性和精密度。结果表明,GDMS是超高纯铝样品直接测定的最有效手段之一。 |
| 关 键 词： | GDMS 超高纯铝 相对灵敏度因子 ICPMS |
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