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Au对GaP接触界面形成及其特性
引用本文:林秀华.Au对GaP接触界面形成及其特性[J].发光学报,1999,20(4):336-341.
作者姓名:林秀华
作者单位:厦门大学物理系!福建 厦门361005厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室福建厦门361005
基金项目:福建省自然科学基金!E97001,厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室资助
摘    要:借助X射线衍射和扫描电子显微镜研究了Au和GaP接触体系界面特性的温度依赖性。测量表明,既使在低于400℃温度下界面反应也会生成少量的Au-GaP金属间化合物,它的主要成份是(GaAu)H,Ga2Au,在较高温度550℃合金条件下界面反应生成少量的GaP化合物表面发生分解,界面反应增增并伴随着快速的原子间互扩散,大量Ga原子向外迁移进入Au膜复盖层。同时,Au原子也内扩散进入GaP表面,Au-GA

关 键 词:接触  界面反应    磷化镓  表面性质  半导体

INTERFACE FORMATION AND PROPERTIESIN An CONTACT TO GaP
LIN Xinhua.INTERFACE FORMATION AND PROPERTIESIN An CONTACT TO GaP[J].Chinese Journal of Luminescence,1999,20(4):336-341.
Authors:LIN Xinhua
Abstract:
Keywords:An contact to GaP  interface reactions XRD spectral surface property
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