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扫描探针纳米加工技术的现状与发展趋势
引用本文:
宫建茹,万立骏,白春礼.扫描探针纳米加工技术的现状与发展趋势[J].大学化学,2003,18(1):7-11.
作者姓名:
宫建茹
万立骏
白春礼
作者单位:
中国科学院化学研究所,北京,100080
摘 要:
介绍了扫描探针纳米加工技术的基本原理、应用前景和最新进展 ,并讨论了该技术的发展趋势
关 键 词:
扫描探针
纳米加工技术
现状
发展
微电子技术
机械刻蚀
电致刻蚀
光致刻蚀
热致刻蚀
浸笔印刷
Development of Nanolithography Based on Scanning Probe Microscopy
Abstract:
Keywords:
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