| 全氢聚硅氮烷-氧化硅的转化过程研究※ |
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| 引用本文： | 王丹,郭香,李鹏飞,张昱临,徐彩虹,张宗波.全氢聚硅氮烷-氧化硅的转化过程研究※[J].化学学报,2022,80(6):734-740. |
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| 作者姓名： | 王丹 郭香 李鹏飞 张昱临 徐彩虹 张宗波 |
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| 作者单位： | a 中国科学院化学研究所 中国科学院极端环境高分子材料重点实验室 北京 100190b 中国科学院大学 化学与化工学院 北京 100049 |
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| 基金项目： | 国防基础科研项目(JCKY2020203B019)； |
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| 摘 要： | 利用全氢聚硅氮烷(PHPS)转化制备的氧化硅材料在存储芯片、柔性显示封装等领域展现出较高的应用价值. 本工作系统研究了PHPS在高温加热条件下的氧化硅形成过程, 考察了转化过程中化学组成和微观结构对体积收缩、折射率和力学性能的影响. 研究结果表明: 转化温度低于180 ℃时, PHPS的转化以Si—H和Si—N的水解缩合反应为主, 转化程度较低, 形成的是氧化硅为分散相、PHPS为连续相的海岛结构; 转化温度在180~300 ℃区间内, 转化以氧化反应为主, 氧化硅相逐渐生长, 形成双连续的相结构, 且在温度高于200 ℃时发生相反转, 氧化硅相成为连续相. 转化温度在300~600 ℃区间时, 氧化硅网络骨架基本形成, 在高温的作用下进一步致密化. PHPS转化样品的体积收缩、折光指数和力学性能与其转化程度和相分布有关.
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| 关 键 词： | 全氢聚硅氮烷 氧化硅 转化过程 微观结构 双连续相 |
Conversion Process of Perhydropolysilazane to Silica※ |
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| Dan Wang,Xiang Guo,Pengfei Li,Yulin Zhang,Caihong Xu,Zongbo Zhang.Conversion Process of Perhydropolysilazane to Silica※[J].Acta Chimica Sinica,2022,80(6):734-740. |
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| Authors: | Dan Wang Xiang Guo Pengfei Li Yulin Zhang Caihong Xu Zongbo Zhang |
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| Institution: | a Key Laboratory of Science and Technology on High-tech Polymer Materials, Institute of Chemistry, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, Chinab School of Chemistry and Chemical Engineering, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | perhydropolysilazane silica conversion process microstructure bi-continuous phase |
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