| 液相沉积法的应用及发展 |
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| 引用本文： | 余萍,陈善华.液相沉积法的应用及发展[J].广东微量元素科学,2006,13(3):12-16. |
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| 作者姓名： | 余萍 陈善华 |
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| 作者单位： | 成都理工大学材料与化学化工学院,四川,成都,610059 |
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| 摘 要： | 介绍了一种新的湿化学成膜法—液相沉积法,对液相沉积法制备薄膜的原理、工艺流程及最新进展进行了详细阐述,并概述了其应用前景。
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| 关 键 词： | 液相沉积 氧化物 薄膜 湿化学成膜法 |
| 文章编号： | 1006-446X（2006）03-0012-05 |
| 收稿时间： | 2005-12-07 |
| 修稿时间： | 2005年12月7日 |
Application and Development of Liquid Phase Depositon Method |
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| YU Ping,CHEN Shanhua.Application and Development of Liquid Phase Depositon Method[J].Trace Elements Science,2006,13(3):12-16. |
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| Authors: | YU Ping CHEN Shanhua |
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| Abstract: | A new method named liquid phase depositon(LPD) of preparing thin film through wet chemical process is discussed.The mechanism and technological process of LPD is stated.The application and development of LPD are discussed. |
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| Keywords: | liquid phase deposition thin films wet chemical preparing method ot thin film |
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